Структурные исследования тонких слоев кремния, многократно имплантированных ионами углерода
Нусупов К.Х.1, Бейсенханов Н.Б.1, Валитова И.В.1, Дмитриева Е.А.1, Жумагалиулы Д.1, Шиленко Е.А.1
1Физико-технический институт Министерства образования и науки Казахстана, Алма-Aта, Казахстан
Email: beisen@sci.kz
Поступила в редакцию: 27 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2006 г.
Методами электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, Оже-электронной и ИК-спектроскопии исследуются состав и структура однородных слоев SiC1.4 и SiC0.12, полученных многократной имплантацией в кремний ионов углерода с энергиями 40, 20, 10, 5 и 3 keV. На основе температурных зависимостей (200-1400oC) параметров пика ИК-пропускания показано, что рост количества атомов углерода, находящихся в связанном состоянии с атомами кремния и участвующих в поглощении, обусловлен процессами формирования и распада гексагональных, близких к тетраэдрической и кратных связей Si-C, а также распада прочных оптически неактивных углеродных кластеров. Высокая температура кристаллизации SiC (1200oC) в слое SiC1.4 объясняется наличием стабильных кратных связей Si-C и прочных кластеров углерода. Показано наличие прочных углеродных кластеров в имплантированном слое SiC0.12 и влияние их распада на формирование тетраэдрических связей при температурах 1200-1400oC. PACS: 68.35.Nq, 61.72.Tt
- E. Theodossiu, H. Baumann, E.K. Polychroniadis, K. Bethge. Nucl. Instr. Meth. B 161-- 163, 941 (2000)
- H. Yan, B. Wang, X.M. Song, L.W. Tan, S.J. Zhang, G.H. Chen, S.P. Wong, R.W.M. Kwok, W.M. Lau. Diamond Related Mater. 9, 1795 (2000)
- K.Kh. Nussupov, N.B. Beisenkhanov, J. Tokbakov. Nucl. Instr. Meth. B 103, 161 (1995)
- K.Kh. Nussupov, V.O. Sigle, N.B. Вeisenkhanov. Nucl. Instr. Meth. B 82, 69 (1993)
- T. Kimura, Sh. Kagiyama, Sh. Yugo. Thin Solid Films 122, 165 (1984)
- J.A. Borders, S.T. Picraux, W. Beezhold. Appl. Lett. 18, 11, 509 (1971)
- Е.К. Баранова, К.Д. Демаков, К.В. Старинин, Л.Н. Стрельцов, И.Б. Хайбуллин. ДАН СССР 200, 869 (1971)
- К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 2, 88 (2002)
- К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 6, 68 (2002)
- T. Kimura, Sh. Kagiyama, Sh. Yugo. Thin Solid Films 94, 191 (1982)
- P. Durupt, B. Canur, J.P. Gauthier, J.A. Roger, J. Pivot. Mater. Res. Bull. 15, 1557 (1980)
- Z. Kantor, E. Fogarassy, A. Grob, J.J. Grob, D. Muller, B. Prevot, R. Stuck. Appl. Surf. Sci. 109/110, 305 (1997)
- L. Calcagno, G. Compagnini, G. Foti, M.G. Grimaldi, P. Musumeci. Nucl. Instr. Meth. B 120, 121 (1996)
- S.P. Wong, Dihu Chen, L.C. Ho, H. Yan, R.W.M. Kwok. Nucl. Instr. Meth. B 140, 70 (1998)
- К.Х. Нусупов. Автореф. докт. дис. ФИАН, М. (1996). 43 с
- I.P. Akimchenko, K.V. Kisseleva, V.V. Krasnopevtsev, Yu.V. Milyutin, A.G. Touryansky, V.S. Vavilov. Rad. Eff. 33, 75 (1977)
- Dihu Chen, W.Y. Cheung, S.P. Wong. Nucl. Instr. Meth. B 148, 589 (1999)
- Dihu Chen, S.P. Wong, Shenghong Yang, D. Mo. Thin Solid Films 426, 1 (2003)
- I.P. Akimchenko, K.V. Kisseleva, V.V. Krasnopevtsev, A.G. Touryansky, V.S. Vavilov. Rad. Eff. 48, 7 (1980)
- А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. Энергоиздат, М. (1985). 245 с
- J.F. Gibbons, W.S. Johnson, S.W. Hylroic. Projected range statistics. 2nd ed. Dowden, Stroudsburg, PA (1975). Pt 1. P. 93
- А. Тейлор. Рентгеновская металлография. Металлургия, М. (1965). 663 с
- L. Pauling, P. Pauling. Chemistry. W.H. Freeman and Company, San Francisco (1975). [Л. Полинг, П. Полинг. Химия. Мир, М. (1978). С. 683]
- G. Raabe, J. Miche. Chem. Rev. 85, 419 (1985)
- К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 2, 13 (2003)
- К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 6, 73 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук