Модель пары: атом фосфора--междоузельный атом кремния
Челядинский А.Р.1, Буренков В.А.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 7 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.
Рентгенодифракционным методом исследованы дефекты междоузельного типа в кремнии, имплантированном ионами P и Si. Установлено, что образующиеся при имплантации и в процессе последующей термообработки междоузельные комплексы не содержат в себе атома P. Предложена модель пары PI: атом P-междоузельный атом Si. Пара PI - это атомы P и Si в одном междоузлии, не связанные между собой химической ковалентной связью. Модель пары отвечает особенностям диффузии имплантированного фосфора в кремнии.
- F.F. Morehead, R.F. Lever. Appl. Phys. Lett. 48, 151 (1986)
- H.U. Jager, T. Fendel, S. Ulbricht. Phys. Stat. Sol. (a) 116, 571 (1989)
- A.R. Chelyadinskii, H.I. Haki Taher. Phys. Stat. Sol. (a) 142, 331 (1994)
- F.N. Schwettmann, D.L. Kendall. Appl. Phys. Lett. 19, 218 (1971)
- M. Yoshida. J. Appl. Phys. 48, 2169 (1977)
- R.B. Fair, C.C. Tsai. J. Electrochem. Soc. 124, 1107 (1977)
- D.A. Antoniadis, Moskowitz. J. Appl. Phys. 53, 6788 (1982)
- V.A. Burenkov, M. Jadan, A.R. Chelyadinskii. Proc. Conf. Ion Implantation of Science and Technology. Naleczow, Polska (1997). P. 108
- G.D. Watkins, K.L. Brower. Phys. Rev. Lett. 36, 1329 (1976)
- N.I. Berezhnov, A.R. Chelyadinskii, M. Jadan, Yu.R. Suprun-Belevich. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Rev. B73, 357 (1993)
- N.I. Berezhnov, V.F. Stelmakh, A.R. Chelyadinskii. Phys. Stat. Sol. (a) 78, K121 (1983)
- Н.И. Бережнов, Ю.Р. Супрун-Белевич, А.Р. Челядинский, Х.И. Хаки Тахер. Изв. вузов. Физика 4, 55 (1991)
- В.А. Ботвин, Ю.В. Горелкинский, В.О. Сигле, М.А. Чубисов. ФТП 6, 1683 (1972)
- Y.H. Lee, N.N. Gerasimenko, J.W. Corbett. Phys. Rev. B14, 4506 (1976)
- K.L. Brower. Phys. Rev. B14, 872 (1976)
- Y.H. Lee, Y.M. Kim. J.W. Corbett. Rad. Eff. 15, 77 (1972)
- J.W. Corbett, J.P. Karins. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 182--183, 457 (1981)
- А.Н. Жевно, В.В. Сидорик, В.Д. Ткачев. ДАН БССР 20, 409 (1976)
- J.C. North, W.M. Gibson. Appl. Phys. Lett. 16, 126 (1970)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.