Вышедшие номера
Модель пары: атом фосфора--междоузельный атом кремния
Челядинский А.Р.1, Буренков В.А.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 7 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.

Рентгенодифракционным методом исследованы дефекты междоузельного типа в кремнии, имплантированном ионами P и Si. Установлено, что образующиеся при имплантации и в процессе последующей термообработки междоузельные комплексы не содержат в себе атома P. Предложена модель пары PI: атом P-междоузельный атом Si. Пара PI - это атомы P и Si в одном междоузлии, не связанные между собой химической ковалентной связью. Модель пары отвечает особенностям диффузии имплантированного фосфора в кремнии.