Вышедшие номера
Модель пары: атом фосфора--междоузельный атом кремния
Челядинский А.Р.1, Буренков В.А.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 7 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.

Рентгенодифракционным методом исследованы дефекты междоузельного типа в кремнии, имплантированном ионами P и Si. Установлено, что образующиеся при имплантации и в процессе последующей термообработки междоузельные комплексы не содержат в себе атома P. Предложена модель пары PI: атом P--междоузельный атом Si. Пара PI --- это атомы P и Si в одном междоузлии, не связанные между собой химической ковалентной связью. Модель пары отвечает особенностям диффузии имплантированного фосфора в кремнии.
  1. F.F. Morehead, R.F. Lever. Appl. Phys. Lett. 48, 151 (1986)
  2. H.U. Jager, T. Fendel, S. Ulbricht. Phys. Stat. Sol. (a) 116, 571 (1989)
  3. A.R. Chelyadinskii, H.I. Haki Taher. Phys. Stat. Sol. (a) 142, 331 (1994)
  4. F.N. Schwettmann, D.L. Kendall. Appl. Phys. Lett. 19, 218 (1971)
  5. M. Yoshida. J. Appl. Phys. 48, 2169 (1977)
  6. R.B. Fair, C.C. Tsai. J. Electrochem. Soc. 124, 1107 (1977)
  7. D.A. Antoniadis, Moskowitz. J. Appl. Phys. 53, 6788 (1982)
  8. V.A. Burenkov, M. Jadan, A.R. Chelyadinskii. Proc. Conf. Ion Implantation of Science and Technology. Naleczow, Polska (1997). P. 108
  9. G.D. Watkins, K.L. Brower. Phys. Rev. Lett. 36, 1329 (1976)
  10. N.I. Berezhnov, A.R. Chelyadinskii, M. Jadan, Yu.R. Suprun-Belevich. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Rev. B73, 357 (1993)
  11. N.I. Berezhnov, V.F. Stelmakh, A.R. Chelyadinskii. Phys. Stat. Sol. (a) 78, K121 (1983)
  12. Н.И. Бережнов, Ю.Р. Супрун-Белевич, А.Р. Челядинский, Х.И. Хаки Тахер. Изв. вузов. Физика 4, 55 (1991)
  13. В.А. Ботвин, Ю.В. Горелкинский, В.О. Сигле, М.А. Чубисов. ФТП 6, 1683 (1972)
  14. Y.H. Lee, N.N. Gerasimenko, J.W. Corbett. Phys. Rev. B14, 4506 (1976)
  15. K.L. Brower. Phys. Rev. B14, 872 (1976)
  16. Y.H. Lee, Y.M. Kim. J.W. Corbett. Rad. Eff. 15, 77 (1972)
  17. J.W. Corbett, J.P. Karins. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 182--183, 457 (1981)
  18. А.Н. Жевно, В.В. Сидорик, В.Д. Ткачев. ДАН БССР 20, 409 (1976)
  19. J.C. North, W.M. Gibson. Appl. Phys. Lett. 16, 126 (1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.