Вышедшие номера
Исследование структуры пленок термического окисла на кремнии методом катодолюминесценции
Заморянская М.В.1, Соколов В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.

Проведено исследование катодолюминесцентных свойств термического окисла кремния, выращенного на кремнии. Установлено, что катодолюминесцентные свойства термических пленок не однородны по глубине, зависят от способа выращивания пленок и от характеристик кремниевой подложки.
  1. V.I. Sokolov, N.A. Fedorovich. Phys. Stat. Sol. (a) 99, 151 (1987)
  2. F. Maurice, L. Meny, R. Tixier. Microanalysis and Scanning Electron Microscopy. Les Editions de Physique (1978). P. 527
  3. М.В. Заморянская, И.А. Вайншенкер, А.Н. Заморянский. ПТЭ 4, 192 (1987)
  4. А.Р. Силинь, А.Н. Трухин. Точечные дефекты и элементарные возбуждения в кристаллическом и стеклообразном SiO-=SUB=-2-=/SUB=-. Зинатне, Рига. (1985). 243 с
  5. А.Н. Трухин, А.Э. Плаудис. ФТТ 21, 4, 1109 (1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.