Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 1998, выпуск 8 » Статья стр. 1433
<<<>>>
Фотолюминесценция пленок a-Si : H, легированных эрбием из металлорганического соединения Er(HFA)3·DME в процессе плазмохимического газофазного осаждения
Воронков В.Б.1, Голубев В.Г.1, Горшков Н.И.2, Медведев А.В.1, Певцов А.Б.1, Суглобов Д.Н.2, Феоктистов Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.
PDF версия
В рамках стандартной низкотемпературной (<300oC) технологии PE CVD получены пленки a-Si(Er) : H, излучающие в области 1.54 mum при комнатной температуре. В качестве источника Er использован специально синтезированный фторосодержащий металлорганический комплекс Er(HFA)3·DME (HFA=CF3C(O)CHC(O)CF3, DME=CH3OCH2CH2OCH3 ), обладающий низкой (порядка 100oC) температурой перехода в газовую фазу при рабочих давлениях (0.1-0.5 Torr) метода PE CVD. Исследованы особенности спектров фотолюминесценции a-Si(Er) : H в диапазоне 0.5-1.7 mum при T=77 и 300 K. Наличие фотопроводимости в синтезированных пленках свидетельствует об их удовлетворительном электронном качестве.
  1. M.S. Bresler, O.V. Gusev, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, P.E. Pak, E.I. Terukov, I.N. Yassievich, B.P. Zakharchenya, W. Fuhs, A. Sturm. Appl. Phys. Lett. 67, 24, 3599 (1995)
  2. Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, М.М. Мездрогина, В.Г. Голубев, A. Sturm, W. Fuhs. ФТП 30, 5, 820 (1996)
  3. J.H. Shin, R. Serna, G.N. van den Hoven, A. Polman. W.G.J.M. van Sark, A.M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett. 68, 7, 997 (1996)
  4. A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes. Appl. Phys. Lett. 70, 4, 511 (1997)
  5. J.L. Rogers, P.S. Andry, W.J. Varhue, E. Adams, M. Lavoie, P.B. Klein. J. Appl. Phys. 78, 10, 6241 (1995)
  6. P.S. Andry, W.J. Varhue, F. Lapido, K. Ahmed, P.B. Klein, P. Hengenhold, J. Hunter. J. Appl. Phys. 80, 1, 551 (1996)
  7. Физика аморфного гидрогенизированного кремния. В. 1 / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. Мир, М. (1987). 363 с
  8. В.Б. Воронков, В.Г. Голубев, Н.И. Горшков, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Д.Н. Суглобов, Н.А. Феоктистов. Письма в ЖТФ 24, 12, в печати (1998)
  9. J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys. 70, 5, 2672 (1991)
  10. F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys. 78, 6, 3874 (1995)
  11. W.-X. Ni, K.B. Joelsson, C.-X. Du, I.A. Buyanova, G. Pozina, W.M. Chen, G.V. Hansson, B. Monemar, J. Cardenas, B.G. Svensson. Appl. Phys. Lett. 70, 25, 3383 (1997)
  12. А. Мадан, В сб.: Физика аморфного гидрогенизированного кремния. В. 1 / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. Мир, М. (1987). С. 310
  13. M. Morse, B. Zheng, J. Palm, X. Duan, L.C. Kimerling. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 422, 41 (1996)
  14. A.J. Kenyon, P.F. Trwoga, M. Federighi, C.W. Pitt. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 358, 117 (1995)
  15. Н.П. Гребенщиков, Г.В. Сидоренко, Д.Н. Суглобов. Радиохимия 32, 6, 14 (1990)
  16. Н.И. Горшков, Д.Н. Суглобов, Г.В. Сидоренко. Радиохимия 37, 3, 196 (1995)
  17. В.Ф. Мастеров, Л.В. Захаренков. ФТП 24, 4, 610 (1990)
  18. R. Street. Adv. Phys. 30, 5, 593 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme