Влияние температуры подложки и скорости осаждения на начальный рост тонких пленок ниобата-танталата лития, полученных методом термальной плазмы
Кулинич С.А.1,2, Yamaki T.2, Miyazoe H.2, Yamamoto H.2, Terashima K.2
1Department of Chemistry, University of British Columbia, Vancouver, BC, Canada V6T 1Z1
2Department of Advanced Materials Science, University of Tokyo, 27 Chiba, Japan
Email: s_kulinich@yahoo.com
Поступила в редакцию: 11 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2006 г.
Тонкие пленки ниобата-танталата лития (LiNb0.5Ta0.5O3) изучались на начальной стадии осаждения из термальной плазмы. Исследовалось влияние двух параметров осаждения (температуры подложки и скорости осаждения) на морфологию, кристалличность и плотность образования островков-зародышей пленки на сапфире (0001). Показано, что кристалличность и шероховатость пленок определяются во многом уже на ранней стадии роста и таким образом испытывают непосредственное и прямое влияние обоих параметров. При оптимальных температуре и скорости роста пленок, дающих наилучшие значения (0006)-текстуры, кристалличности и шероховатости поверхности, зародыши-островки пленок на подложке имеют достаточно высокую плотность и хорошую эпитаксиальную связь с подложкой. При условиях, отличных от оптимальных, образующиеся островки имеют либо аморфную природу, либо низкую плотность на поверхности подложки. Наблюдаемое понижение энергии активации зародышеобразования при повышении скорости осаждения пленок служит подтверждением предположения, что активными частицами в процессе являются "горячие" кластеры, образующиеся в кислородно-аргоновой плазме непосредственно над подложкой. Работа выполнена при частичной поддержке JSPS (Japan Society for the Promotion of Science) в рамках программы "Research for the Future" (грант N 97R15301). PACS: 81.15.Kk, 77.84.Dy, 68.55.Ac
- R.S. Feigelson. J. Cryst. Growth 166, 1 (1996)
- S.Y. Lee, R.S. Feigelson. J. Mater. Res. 14, 2662 (1999)
- S.Y. Lee, R.S. Feigelson. J. Cryst. Growth 186, 594 (1998)
- D.V. Shtansky, S.A. Kulinich, K. Terashima, T. Yoshida, Y. Ikuhara. J. Mater. Res. 16, 2271 (2001)
- V. Gupta, P. Bhattacharya, Yu.I. Yuzyuk, R.S. Katiyar, M. Tomar, K. Sreenivas. J. Mater. Res. 19, 2235 (2004)
- A.H.M. Gonzalez, A.Z. Simoes, M.A. Zaghete, J.A. Varela. Mater. Characterization 50, 233 (2003)
- I. Tsukada, S. Higuchi. Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5307 (2004)
- X.W. Wen, X.L. Jiang, L.J. Han, Y.P. Tan. Vacuum 75, 99 (2004)
- H.K. Lam, J.Y. Dai, H.L.W. Chan. J. Cryst. Growth 268, 144 (2004)
- M.C. Kao, H.Z. Chen, C.M. Wang, Y.C. Chen, M.S. Lee. Appl. Phys. A 79, 103 (2004)
- X. Lansiaux, E. Dogheche, D. Remiens, M. Guilloux-Viry, A. Perrin, P. Ruterana. J. Appl. Phys. 90, 5274 (2001)
- V. Bornand, B. Gautier, Ph. Papet. Mater. Chem. Phys. 86, 340 (2004)
- G.H. Lee, M. Yoshimoto, H. Koinuma. Appl. Surf. Sci. 127-- 129, 393 (1998)
- F. Veignant, M. Gandais, P. Aubert, G. Garry. J. Cryst. Growth 196, 141 (1999)
- Y. Nakata, S. Gunji, T. Okada, M. Maeda. Appl. Phys. A 79, 1279 (2004)
- V. Bouquet, E.R. Leite, E. Longo, J.A. Varela, M. Guilloux-Viry, A. Perrin. J. Eur. Ceram. Soc. 21, 1521 (2001)
- S. Hirano, T. Yogo, K. Kikuta, W. Sakamoto, T. Takeichi. Mater. Sci. Eng. B 41, 117 (1996)
- K. Nashimoto, H. Moriyama, E. Osakabe. Jpn. J. Appl. Phys. 35, 4936 (1996)
- S. Hirano, T. Yogo, W. Sakamoto, Y. Takeichi, S. Ono. J. Eur. Ceram. Soc. 24, 435 (2004)
- T. Kawaguchi, H. Kitayama, M. Imaeda, S. Ito, K. Kaigawa, T. Taniuchi, T. Fukuda. J. Cryst. Growth 169, 94 (1996)
- D. Callejo, S. Manotas, M.D. Serrano, V. Bermudez, F. Agullo-Rueda, E. Dieguez. J. Cryst. Growth 226, 488 (2001)
- S.A. Kulinich, T. Yoshida, H. Yamamoto, K. Terashima. J. Vac. Sci. Technol. A 21, 994 (2003)
- H. Yamamoto, S.A. Kulinich, K. Terashima. Thin Solid Films 390, 1 (2001)
- J. Shibata, H. Yamamoto, S.A. Kulinich, T. Yamamoto, K. Terashima, T. Yoshida, Y. Ikuhara. Mater. Trans. 43, 1517 (2002)
- S.A. Kulinich, J. Shibata, H. Yamamoto, Y. Shimada, K. Terashima, T. Yoshida. Appl. Surf. Sci. 182, 150 (2001)
- S.A. Kulinich, T. Yamaki, S. Bysakh, H. Yamamoto, K. Mitssuishi, M. Song, K. Terashima, K. Furuya. J. Cryst. Growth 247, 408 (2003)
- K. Terashima, K. Eguchi, T. Yoshida, K. Akashi. Appl. Phys. Lett. 52, 1274 (1988)
- J.L. Robins. Appl. Surf. Sci. 33/34, 379 (1988)
- N.G. Semaltianos, J.-L. Pastol, P. Doppelt. Surf. Sci. 562, 157 (2004)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук