Издателям
Вышедшие номера
Исследования свойств FeAlN тонких пленок в зависимости от способов синтеза
Камзин А.С.1, Вей Фулинь2, Янг Зхенг2, Камзин С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2НИИ магнитных материалов, Ланджоуский университет, Ланджоу, Китай
Email: Kamzin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 февраля 2005 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2006 г.

Исследованы микроструктура, морфология и магнитные свойства пленок FeAlN, осажденных методом реактивного радиочастотного распыления с последующим синтезом с использованием трех способов: in situ, ex situ (процессы распыления и отжига разделены) и термокристаллизации аморфных сплавов. Пленки FeAlN, синтезированные методом ex situ, имеют лучшие магнитомягкие характеристики. Методом термокристаллизации аморфных сплавов получены пленки с наивысшей стабильностью свойств по температуре. Наилучшими магнитомягкими свойствами обладают пленки толщиной 800--1000 nm. Установлены зависимости свойств FeAlN пленок от содержания в них азота и от температуры отжига. Определен режим синтеза наноструктурных тонких пленок FeAlN, обладающих лучшими магнитомягкими характеристиками (индукция насыщения BS=1.8 T, коэрцитивная сила HC=1.2 Oe и магнитная восприимчивость mu1 (1 MHz)=3400 ). Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 02-02-39006 и 05-02-17791) и Фонда естественных наук Китайской Народной Республики (грант N 60371016). PACS: 81.15.Cd, 68.37Yz, 68.60.Wm, 75.70.Ak
  1. L.T. Romankiw, J. Magn. Soc. Jpn. 24, 1 (2001)
  2. K.H. Buschow. Handbook of Magnetic Materials. Vol. 10D. Elsevier (1997). P/433
  3. M. Takahashi, T. Shimatsu. IEEE Trans. Magn. MAG 26, 1485 (1991)
  4. B.Y. Wang, S.S. Suwabe, F. Tsuneda, D.E. Laughlin. IEEE Trans. Magn. MAG 31, 3967 (1995)
  5. W.P. Jayasekaro, S. Wang, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 79, 5880 (1996)
  6. D. Zheng, Y. Ma, D. Wu, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Phys. Stat. Sol. (a) 193, 61 (2002)
  7. Y. Ma, X. Li, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Mater. Sci. Eng. B 103, 233 (2003)
  8. M.A. Russak, C.V. Jahens, E. Klokhelm, J.W. Lee, M.E. Re, B.C. Webb. J. Magn. Magn. Mater. 185, 104 (1992)
  9. J.F. Loffher, H.B. Braun, W. Wanger, G. Kostorz, A. Wiedenmann. Mater. Sci. Eng. A 304-- 306, 1050 (2001)
  10. G. Herzer. IEEE Trans. Magn. MAG 25, 5, 3327 (1989)
  11. B. Viala, M.K. Minor, J.A. Barnard. J. Appl. Phys. 80, 7, 3941 (1996)
  12. R.D. Pehkle. F. Elliott. AIME Trans. 218, 1088 (1960)
  13. D.J. Rogers, S. Wang, D.E. Laoghlin, M.H. Kryder. IEEE Trans. Magn. MAG 28, 5, w 419 (1992)
  14. А.С. Камзин, Л.А. Григорьев, А.Б. Шерман. И.С. Бараш. Сверхпроводимость: Физика, Химия, Технология 6, 64 (1993)
  15. А.С. Камзин, С.А. Камзин, Ф. Вей, З. Янг. ЖТФ 75, 131 (2005)
  16. S. Wang, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 67, 9, 5134 (1990)
  17. K. Sin, S.X. Wang. J. Appl. Phys. 79, 8, 5901 (1996)
  18. P. Zou, J.A. Bain. IEEE Trans. Magn. MAG 36, 5, 2536 (2000)
  19. M. Takahashi, T. Shimatsu, H. Shoji. Proc. ICF 6, 1483 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.