Вышедшие номера
Исследования свойств FeAlN тонких пленок в зависимости от способов синтеза
Камзин А.С.1, Вей Фулинь2, Янг Зхенг2, Камзин С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2НИИ магнитных материалов, Ланджоуский университет, Ланджоу, Китай
Email: Kamzin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 февраля 2005 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2006 г.

Исследованы микроструктура, морфология и магнитные свойства пленок FeAlN, осажденных методом реактивного радиочастотного распыления с последующим синтезом с использованием трех способов: in situ, ex situ (процессы распыления и отжига разделены) и термокристаллизации аморфных сплавов. Пленки FeAlN, синтезированные методом ex situ, имеют лучшие магнитомягкие характеристики. Методом термокристаллизации аморфных сплавов получены пленки с наивысшей стабильностью свойств по температуре. Наилучшими магнитомягкими свойствами обладают пленки толщиной 800-1000 nm. Установлены зависимости свойств FeAlN пленок от содержания в них азота и от температуры отжига. Определен режим синтеза наноструктурных тонких пленок FeAlN, обладающих лучшими магнитомягкими характеристиками (индукция насыщения BS=1.8 T, коэрцитивная сила HC=1.2 Oe и магнитная восприимчивость mu1 (1 MHz)=3400 ). Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 02-02-39006 и 05-02-17791) и Фонда естественных наук Китайской Народной Республики (грант N 60371016). PACS: 81.15.Cd, 68.37Yz, 68.60.Wm, 75.70.Ak