Структура комплексов, ответственных за радиационно-стимулированное разупрочнение монокристаллов кремния
Головин Ю.И.1, Дмитриевский А.А.1, Сучкова Н.Ю.1
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Email: dmitr2002@tsu.tmb.ru
Поступила в редакцию: 5 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.
Исследовано влияние интенсивности потока бета-частиц (105< I<2.9· 106 cm-2·s-1) на скорость радиационно-стимулированного изменения микротвердости монокристалла кремния. Определена температура, при которой происходит восстановление микротвердости от значения, наведенного слабоинтенсивным облучением Htau, до исходного - H0. Полученные результаты свидетельствуют о том, что преимущественную роль в процессе радиационно-стимулированного разупрочнения кремния играют комплексы, включающие две вакансии. Работа выполнена при финансовой поддержке программы Университеты России (грант N У. Р. 02.01.020). PACS: 61.82.Fk, 62.20.-x
- В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности. Наука, М. (1990). 212 с
- В.В. Емцев, Т.В. Машовец. Примеси и точечные дефекты в полупроводниках. Радио и связь, М. (1981). 226 с
- В.А. Козлов, В.В. Козловский. ФТП 35, 7, 769 (2001)
- Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, И.А. Пушнин, Н.Ю. Сучкова. ФТТ 46, 10, 1790 (2004)
- Т.А. Пагава. ФТП 38, 6, 665 (2004)
- B.Ya. Farber, V.I. Orlov, V.I. Nikitenko, A.H. Heuer. Phil. Mag. A 78, 671 (1998)
- Yu.I. Golovin, A.I. Tyurin, B.Ya. Farber. Phil. Mag. A 82, 10, 1857 (2002)
- Н.А. Витвовский, Т.В. Машовец, О.В. Оганесян. ФТП 12, 11, 2143 (1978)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.