Вышедшие номера
Упорядочение структуры гидрогенизированных пленок кремния под влиянием непрерывного лазерного облучения
Авакянц Л.П.1, Горелик В.С.1, Курова И.А.1, Червяков А.В.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 26 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1997 г.

Исследован процесс кристаллизации аморфных гидрогенизированных пленок кремния при воздействии на них непрерывного излучения аргонового лазера. Анализ возникающей структуры проводился методом комбинационного рассеяния света. Плотность мощности излучения в процессе отжига составляла 1.5-4.5 kW/cm2 при экспозиции 1/125 s. Спектры комбинационного рассеяния регистрировались при плотности мощности, меньшей 0.1 kW/cm2. Показано, что порог плотности мощности возникновения кристаллитов составляет 3.0 kW/cm2. В рамках модели локализации фононов показано, что при плотности мощности 3 kW/cm2 размеры формирующихся в процессе лазерного отжига кристаллитов составляют 40 Angstrem.
  1. H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Solid State Commun. 39, 625 (1981)
  2. L.P. Avakyants, G.D. Ivlev, E.D. Obraztsova. Laser Interaction with Atoms, Solids, and Plasmas / Ed. R.M. More. Plenum Press, N. Y. (1994). P. 239--248
  3. L.P. Avakyants, L.L. Gerasimov, V.S. Gorelik, N.M. Manja, E.D. Obraztsova, Yu.I. Plotnikov. J. Mol. Struc. (1992). V. 267, P. 177--184
  4. W. Sinke, T. Warabisako, M. Miyao, T. Tokuyama, S. Roorda, F.M. Saris. J. Non-Cryst. Sol. 99, 308 (1988)
  5. I.H. Campbell, P.M. Fauchet. Solid State Commun. 58, 739 (1986)
  6. S. Veprek, Z. Iqbal, F.A. Sarott. Phil. Mag. B45, 137 (1982)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.