Упорядочение структуры гидрогенизированных пленок кремния под влиянием непрерывного лазерного облучения
Авакянц Л.П.1, Горелик В.С.1, Курова И.А.1, Червяков А.В.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 26 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1997 г.
Исследован процесс кристаллизации аморфных гидрогенизированных пленок кремния при воздействии на них непрерывного излучения аргонового лазера. Анализ возникающей структуры проводился методом комбинационного рассеяния света. Плотность мощности излучения в процессе отжига составляла 1.5-4.5 kW/cm2 при экспозиции 1/125 s. Спектры комбинационного рассеяния регистрировались при плотности мощности, меньшей 0.1 kW/cm2. Показано, что порог плотности мощности возникновения кристаллитов составляет 3.0 kW/cm2. В рамках модели локализации фононов показано, что при плотности мощности 3 kW/cm2 размеры формирующихся в процессе лазерного отжига кристаллитов составляют 40 Angstrem.
- H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Solid State Commun. 39, 625 (1981)
- L.P. Avakyants, G.D. Ivlev, E.D. Obraztsova. Laser Interaction with Atoms, Solids, and Plasmas / Ed. R.M. More. Plenum Press, N. Y. (1994). P. 239--248
- L.P. Avakyants, L.L. Gerasimov, V.S. Gorelik, N.M. Manja, E.D. Obraztsova, Yu.I. Plotnikov. J. Mol. Struc. (1992). V. 267, P. 177--184
- W. Sinke, T. Warabisako, M. Miyao, T. Tokuyama, S. Roorda, F.M. Saris. J. Non-Cryst. Sol. 99, 308 (1988)
- I.H. Campbell, P.M. Fauchet. Solid State Commun. 58, 739 (1986)
- S. Veprek, Z. Iqbal, F.A. Sarott. Phil. Mag. B45, 137 (1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.