Издателям
Вышедшие номера
Исследование химического состояния меди в композитных пленках Cu / SiO2 методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
Гуревич С.А.1, Зарайская Т.А.1, Конников C.Г.1, Микушкин В.М.1, Никонов С.Ю.1, Ситникова А.А.1, Сысоев С.Е.1, Хоренко В.В.1, Шнитов В.В.1, Гордеев Ю.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 марта 1997 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.

Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскпии (РФЭС) определены содержание и химическое состояние меди в приповерхностной области композитных пленок Cu / SiO2, полученных методом одновременного магнетронного напыления из двух источников (Cu и SiO2). Установлено, что в исходной напыленной пленке медь находится главным образом в виде рассеянных в SiO2-матрице неокисленных атомов. Отжиг пленки также практически не приводит к их окислению, но около 70% атомов меди конденсируется в металлические кластеры размером менее 10 Angstrem в приповерхностной области и около 50 Angstrem в объеме пленки. Происходящие при этом изменения энергий связи остовных электронов и, особенно, энергий Оже-электронов настолько велики, что делают фотоэлектронную и Оже-спектроскопию эффективными методами контроля химического состава этого композитного материала.
  1. G.A. Niklasson, C.G. Granqvist. J. Appl. Phys. 55, 9, 3382 (1984)
  2. B. Abeles, P. Sheng, M.D. Coutts, Y. Arie. Adv. Phys. 24, 407 (1975)
  3. O.A. Aktsiperov, P.V. Elyutin, A.A. Nikulin, E.A. Ostrovskaya. Phys. Rev. B 51, 24, 17591 (1995)
  4. J.W. Haus, N. Kalyaniwalla, R. Inguva, C.M. Bowden. J. Appl. Phys. 65, 4, 1420 (1989)
  5. Z.S. Jiang, G.J. Jin, J.T.Ji, H. Sang, Y.W. Du, S.M. Zhou, Y.D. Wang, L.Y. Chen. J. Appl. Phys. 78, 1, 439 (1995)
  6. E. Bart-Sadeh, Y. Goldstein, C. Zhang, H. Deng, B. Abeles, O. Millo. Phys. Rev. B 50, 12, 8961 (1994)
  7. S.V. Vyshenski. Phys. Low-Dim. Struct. 11 / 12, 9 (1994)
  8. E. Parapazzo, J. Dolmann, D. Fiorani. Phys. Rev. B 28, 2, 1154 (1983)
  9. S.I. Shan, K.M. Unruh. Appl. Phys. Lett. 59, 26, 3485 (1991)
  10. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Пер. с англ.; Под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. Мир, М. (1987). 600 с
  11. С.А. Гуревич, А.И. Екимов, И.А. Кудрявцев, А.В. Осинский, В.И. Скопина, Д.И. Чепик. ФТП 26, 1, 102 (1992)
  12. С.А. Гуревич, А.И. Екимов, И.А. Кудрявцев, О.Г. Люблинская, А.В. Осинский, А.С. Усиков, Н.Н. Фалеев. ФТП 28, 5, 830 (1994)
  13. Я.Б. Зельдович. ЖЭТФ 12, 525 (1942)
  14. В.В. Мамутин, П.С. Копьев, А.В. Захаревич, Н.Ф. Картенко, В.М. Микушкин, С.Е. Сысоев. СФХТ 6, 4, 797 (1993)
  15. Ю.С. Гордеев, М.В. Гомоюнова, В.М. Микушкин, И.И. Пронин, С.Е. Сысоев. ФТТ 36 6, 1777 (1994)
  16. V.Y. Young, R.A. Gibbs, N. Winograd. J. Chem. Phys. 70, 5714 (1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.