Вышедшие номера
Кинетика взаимодействия кремния с текстурированными танталовыми лентами
Агеев В.Н.1, Афанасьева Е.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 марта 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

С помощью Оже-электронной спектроскопии изучена кинетика взаимодействия кремния с текстурированными танталовыми лентами с преимущественным выходом на поверхность грани (100). При температурах T<700 K кремний накапливается на поверхности. В области температур 900<T<1000 K после образования монослойного покрытия избыточный кремний участвует в послойном образовании силицида TaSi2. В области температур 1150<T<1320 K избыточный сверх монослоя кремний реагирует с танталом и по механизму послойного роста образует силицид Ta5Si3, который является неустойчивым и при T>1320 K разлагается с образованием силицида Ta4Si, при этом на поверхности остается только 1/3 от монослойного покрытия кремния. Энергия активации распада силицида Ta5Si3 составляет 4.3± 0.2 eV. Термодесорбция атомов Si при малых покрытиях происходит с энергией активации десорбции 5.4± 0.2 eV.
  1. Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС. Мир, М. (1986). С.176
  2. G. Rossi. Surf. Sci. Rep. 7, 101 (1987)
  3. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность, 7, 30 (1987)
  4. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность, 5, 7 (1987)
  5. В.Н. Агеев, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. Поверхность, 2, 47 (1988)
  6. В.Н. Агеев, М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, С.В. Хоружий. Поверхность, 5, 57 (1988)
  7. В.Н. Агеев, М.В. Гомоюнова, А.К. Григорьев, И.И. Пронин, А.Е. Роднянский. Поверхность, 8, 88 (1990)
  8. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, С.М. Соловьев, А.К. Григорьев. ФТТ 35, 2, 481 (1993)
  9. Е.Ю. Афанасьева, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. ФТТ 37, 2, 463 (1995)
  10. Д. Бриггс, М.П. Сих. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Мир, М. (1987). С. 209
  11. N.R. Gall, E.V. Rut'kov, A.Ya. Tontegode, M.M. Usufov. Phys. Low Dim. Struct. 4/5, 75 (1996)
  12. М. Робертс, У. Макки. Химия поверхности раздела металл--газ. Мир, М. (1981). С. 85
  13. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Международная конференция "Эмиссионная электроника, новые методы и технология". Тезисы докладов. Ташкент (1997). В печати
  14. Schlesinger. J Phase Equilibria 15, 1, 90 (1994)
  15. Р.Н. Галль, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. ЖТФ 60, 4, 125 (1990)
  16. G.J. Campisi, A.J. Belovo, H.R. Shanks, F.A. Schmidt. J. Appl. Phys. 53, 3, 1714 (1982)
  17. T.A. Nguyan Tan, M. Azizan, J. Derrien. Surf. Sci. 189/190, 339 (1987)
  18. А.И. Ефимов и др. Свойства неорганических соединений. Справочник. Химия, Л. (1983)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.