Издателям
Вышедшие номера
Рентгенодифракционные исследования кремния, имплантированного ионами эрбия с высокими энергиями
Кютт Р.Н.1, Соболев Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

Кристаллы кремния после имплантации ионов эрбия с энергиями 0.8--2.0 MeV и дозами 1· 1012-1· 1014 cm-2 исследовались методами двух- и трехкристальной дифракции рентгеновских лучей. Наблюдалось образование трех типов двухкристальных кривых отражения. Они соответствуют различным структурным состояниям имплантированных слоев. При умеренных дозах (1· 1012-1· 1013 cm-2) наблюдается возникновение положительной деформации, обусловленной формированием вторичных радиационных дефектов межузельного типа. Увеличение дозы имплантации сопровождается формированием аморфного слоя, разделяющего объемный и тонкий приповерхностный монокристаллический слои. При дозе имплантации 1· 1014 cm-2 приповерхностный монокристаллический слой полностью аморфизируется. Определены параметры имплантировнных слоев. Обсуждается модель трансформации структурных нарушений.
  1. Н.А. Соболев. ФТП 29, 7, 1153 (1995)
  2. D.J. Eaglesham, J. Michel, E.A. Fitzgerald, D.C. Jacobson, J.M. Poate, J.L. Benton, A. Polman, Y.-H. Hie, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett. 58, 2797 (1991)
  3. J.S. Custer, A. Polman, H.M. van Pinxteren. J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994)
  4. R.N. Kyutt, P.V. Petrashen, L.M. Sorokin. Phys. Stat. Sol. (a) 60, 381 (1980)
  5. E.H. teKaat, G.H. Schwuttke. Advances in X-ray Analysis / Ed. L.F.J. Heinrich et al. Plenum Press, N.-Y. (1972). V. 15. 504 p
  6. V.S. Speriosu, H.L. Glass, T. Kolayashi. Appl. Phys. Lett. 34, 539 (1979)
  7. P. Zaumseil, U. Winter, F. Cembali, M. Servidori, Z. Sourek. Phys. Stat. Sol. (a) 100, 95 (1982)
  8. P. Zaumseil, U. Winters. Phys. Stat. Sol. (a) 120, 67 (1990)
  9. В.А. Бушуев, А.П. Петраков. Кристаллография 40, 11 (1995)
  10. J.G.E. Klappe, P.E. Fewster. J. Appl. Cryst. 27, 103 (1994)
  11. G. Bai, M.A. NiKolet. J. Appl. Phys. 70, 649 (1991)
  12. A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy, J. Koczanowski, L. Nowicki. Appl Phys. Lett. 67, 1847 (1995)
  13. О.В. Александров, Р.Н. Кютт, Т.Г. Алкснис. ФТТ 22, 10, 2892 (1980)
  14. C.J. Tsai, A. Dommann, M.A. Nicolet, T. Vreeland, J. Appl. Phys. 69, 2067 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.