Изменения локальной плотности электронных состояний и ближнего порядка в аморфных пленках гидрированного кремния
Терехов В.А.1, Хохлов А.Ф.2, Ковалева Н.С.1, Кашкаров В.М.1, Хохлов Д.А.2, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Нижегородский государственный университет, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 18 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 20 января 1997 г.
Методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии обнаружено изменение характера энергетического распределения валентных состояний кремния после отжига пленок a-Si : H при температуре 500oC. Это выражается в появлении трех четких максимумов плотности состояний на расстоянии 3.5, 7.2 и 10.2 eV от потолка валентной зоны, что свидетельствует об упорядочении структурной сетки a-Si : H. Энергетическое расстояние между максимумами (E-Ev=7.2 и 10.2 eV) подтверждает электронографические данные об уменьшении межатомного расстояния кремний-кремний на 0.2 Angstrem по сравнению с кристаллом. Наличие третьего максимума (E-Ev=3.5 eV) связано с изменением характера гибридизации s-p-функций кремния при уменьшении координационного числа.
- Аморфные полупроводники и приборы на их основе / Под ред. И. Хамакавы. Металлургия, М. (1986). 375 с.
- W. Beyor. Tetrahedrally Bound Amorphous Semiconductors / Ed. D. Adler and H. Fritzsche. Plenum Press, N.Y. (1985). P. 129
- А.Ф. Хохлов, В. Байер, Д.А. Павлов, Г. Вагнер. Высокочистые вещества, 3, 79 (1991)
- V.A. Terekhov, S.N. Trostyanskii, E.P. Domashevskaya, O.A. Golikova, M.M. Mezdrogina, K.L. Sorokina, M.M. Kazanin. Phys. Stat. Sol. (b) 138, 2, 647 (1986)
- E.P. Domashevskaya, O.A. Golikova, V.A. Terekhov, S.N. Trostyanskii. J. Non-Cryst. Sol. 90, 135 (1987).
- В.А. Терехов, С.Н. Тростянский, А.Е. Селезнев, Э.П. Домашевская. Поверхность. Физика, химия, механика, 5, 74 (1988)
- В.А. Терехов, С.Н. Тростянский, А.Н. Лукин, Н.Н. Макеева, Э.П. Домашевская. В кн: Аморфный кремний и структуры на его основе. Матер. междунар. конф. "Некристаллические полупроводники-89". Ужгород (1989). Т. 3. С. 41--43
- Н.Н. Макеева, И.С. Суровцев, В.А. Терехов, В.З. Анохин. Изв. АН СССР. Неорган. материалы 23, 6, 924 (1987)
- A.I. Agafonov, E.P. Domashevskaya, E.N. Desyatirikova, V.N. Seleznev, V.A. Terekhov, G.G. Eldarov. J. Non-Cryst. Sol. 97\&98, 827 (1987)
- Э.П. Домашевская, И.Я. Миттова, Н.И. Пономарева, В.А. Терехов, В.М. Андреещев. Поверхность. Физика, химия, механика, 6, 138 (1985)
- L. Ley, R.A. Pollak, S.P. Kowalzyk, R. Mc. Feely, D.A. Shirley. Phys. Rev. B8, 2, 641 (1973)
- Э.П. Домашевская. Докт. дис. Воронеж (1978). 293 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.