Вышедшие номера
Формирование изображения краевой дислокации в поглощающем кристалле
Смирнова И.А.1, Суворов Э.В.1, Шулаков Е.В.2
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: irina@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 10 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.

Экспериментально и методом компьютерного моделирования исследовались особенности формирования дифракционного изображения единичной краевой дислокации в условиях, когда область дефекта может быть размещена в различных участках треугольника рассеяния. Эксперимент включал в себя съемку дислокации на различных длинах волн и для разных отражений. Исследована геометрия дифракции, когда линия дислокации перпендикулярна поверхности образца, вектор Бюргерса параллелен или перпендикулярен вектору обратной решетки. На основании анализа экспериментальных данных и расчетных изображений сделаны выводы относительно симметрии изображений, углового разрешения и чувствительности метода секционной топографии к формированию изображения дислокации. Особое внимание уделено влиянию на контраст и размеры изображений длины волны излучения, модуля вектора обратной решетки и величины интерференционного поглощения. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 06-02-16536 и 06-02-17406). PACS: 61.10.Nz, 61.72.Ff, 61.72.Dd