Фотолюминесценция слоев SiO2, приготовленных на пленках beta-SiC, и анализ их элементного состава
Данишевский А.М.1, Лебедев В.М.2, Рогачев А.Ю.1, Шуман В.Б.1, Ситникова А.А.1, Золотарева Р.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Email: Alex.D@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 августа 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.
Исследуются спектры импульсной, разрешенной во времени фотолюминесценции (ФЛ) окисленных слоев, полученных электрохимическим окислением на пленках SiC/Si. Анализ их элементного состава, проведенный с помощью методов обратного резерфордовского рассеяния и ядерных реакций, показал, что в окисле остается определенная часть атомов углерода. Особенности параметров спектральных полос и их кинетик во времени связываются авторами именно с наличием равномерно распределенного в окисле углерода. С использованием электронной микроскопии изучены структуры окислов при различных длительностях окисления. Сделаны заключения о возможных центрах излучения ФЛ. PACS: 71.23.Cq, 71.55.Jv, 78.55.Qr
- L.N. Skuja, A.N. Streletsky, A.B. Pakovich. Sol. Stat. Commun. 50, 1069 (1984)
- А.Р. Силинь, А.Н. Трухин. Точечные дефекты и элементарные возбуждения в кристаллическом и стеклообразном SiO2. Рига (1985). 244 с
- Ю.Д. Глинка, С.Н. Науменко, В.М. Огенко, А.А. Чуйко. Оптика и спектроскопия 71, 431 (1991)
- Yu.D. Glinka, Sheng-Hsien Lin, Yit-Tsong Chen. Appl. Phys. Lett. 75, 778 (1999)
- Yu.D. Glinka, Sheng-Hsien Lin, Yit-Tsong Chen. Phys. Rev. B 62, 4733 (2000)
- Q. Zhang, S.C. Bailiss, A. Al-Ajili, D.A. Hutt, P. Harris. NIM B 97, 329 (1995)
- Г.А. Качурин, И.Е. Тысченко, В. Скорупа и др. ФТП 31, 730 (1997)
- L.T. Canham, A. Loni, P.D.J. Calcott, A.J. Simons et al. Thin Solid Films 276, 112 (1996)
- R. Guerrero-Lemus, J.D. Moreno, R.J. Martin-Palma, F. Ben-Handler et al. Thin Solid Films 354, 34 (1999)
- О.М. Сресели, Д.Н. Горячев, В.Ю. Осипов, Л.В. Беляков и др. ФТП 36, 604 (2002)
- А.М. Данишевский, В.Б. Шуман, Е.Г. Гук, А.Ю. Рогачев. ФТП 31, 420 (1997)
- А.М. Данишевский, А.Ю. Рогачев, В.Б. Шуман, Е.Г. Гук. ФТП 31, 1387 (1997)
- А.Н. Дюмин, В.К. Еремин, С.Г. Конников, В.М. Лебедев, Ю.Г. Лукьянов, Н.Б. Строкан. ЖТФ 63, 166 (1993)
- Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП 36, 734 (2002)
- J.E. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The stopping and range of ions in solids. Pergamon Press, N. Y. (1985). 300 p
- D.M. Shirokov, V. Bohas. NIM B 84, 497 (1993)
- В.С. Кортов, А.Ф. Зацепин, С.В. Горбунов, А.М. Мурзакаев. ФТТ 48, 1205 (2006)
- L. Skuja. J. Non-Cryst. Solids 239, 16 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
