Вышедшие номера
О рекомбинации собственных точечных дефектов в бездислокационных монокристаллах кремния
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Университет государственного и муниципального управления, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 июня 2006 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2007 г.

Экспериментально установлено и подтверждено термодинамическими расчетами, что в бездислокационных монокристаллах кремния вблизи фронта кристаллизации процесс рекомбинации собственных точечных дефектов затруднен в связи с наличием рекомбинационного барьера. В соответствии с гетерогенным механизмом образования и трансформации ростовых микродефектов произведена оценка рекомбинационных параметров (высота рекомбинационного барьера, время рекомбинации, фактор рекомбинации) модели динамики точечных дефектов при высоких и низких температурах. Подтверждено, что распад пересыщенного твердого раствора точечных дефектов происходит по двум направлениям: вакансионному и межузельному. Вакансии и собственные межузельные атомы кремния находят стоки в виде фоновых примесей кислорода и углерода. Показано, что образование пар собственный точечный дефект-примесь является доминирующим процессом вблизи температуры плавления. PACS: 61.72.Bb, 61.72.Jj, 61.72.Yx