Рентгенодифракционные исследования особенностей кинетики роста кислородосодержащих преципитатов в Cz-кремнии
Новиков Н.Н.1, Теселько П.А.1, Михалюк О.В.1
1Киевский национальный университет им. Т. Шевченко, Киев, Украина
Email: peter@univ.kiev.ua
Поступила в редакцию: 25 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.
Методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии выполнено исследование процесса образования и роста дефектов (преципитатов и дислокационных петель) при изотермическом распаде пересыщенного твердого раствора кислорода в выращенном методом Чохральского кремнии. Установлено, что рост кислородосодержащих преципитатов происходит за счет протекания диффузионных процессов, а образование дислокационных петель связано как с процессами коагуляции внедренных атомов кремния, так и с выдавливанием петель напряжениями, создающимися в окрестности преципитатов. PACS: 61.72.Cc, 61.10.Nz
- M. Reiche, J. Reichel, W. Nitzche. Phys. Stat. Sol. (a) 107, 851 (1988)
- H. Bender, J. Vanhollemont. Phys. Stat. Sol. (a) 107, 455 (1988)
- W. Bergholz, W. Schroter. In: Proc. 7th Int. School "Defects in Crystals" / Ed. E. Mizera. World Scientific, Szczyrk, Poland (1985). P. 196
- H. Bender. Phys. Stat. Sol. (a) 86, 245 (1984)
- K.E. Kelton, R. Falster, D. Gambaro, M. Olmo, M. Comara, P.F. Wei. J. Appl. Phys. 85, 8097 (1999)
- J. Vanhellemont, C. Claeys. J. Appl. Phys. 62, 3960 (1987)
- M. Stavola. Physica B 145, 187 (1987)
- S.I. Olikhovskii, V.B. Molodkin, E.N. Kislovskii, E.G. Len, E.V. Pervak. Phys. Stat. Sol. (b) 231, 199 (2002)
- В.А. Макара, Н.Н. Новиков, В.Д. Пацай. ФТТ 47, 1792 (2005)
- М.А. Кривоглаз. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей и нейтронов на флуктуационных неоднородностях в неидеальных кристаллах. Наук. думка, Киев (1984). 288 с
- Е.Н. Гаврилов, Е.Н. Кисловский, В.Б. Молодкин, С.И. Олиховский. Металлофизика 14, 70 (1992)
- В.Г. Барьяхтар, Е.Н. Гаврилова, В.Б. Молодкин, С.И. Олиховский. Металлофизика 14, 68 (1992)
- В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния. "Интерпресс ЛТД", Киев (1997). 239 c
- J.C. Mikkelsen. Appl. Phys. Lett. 40, 336 (1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук