Вышедшие номера
Рентгенодифракционные исследования особенностей кинетики роста кислородосодержащих преципитатов в Cz-кремнии
Новиков Н.Н.1, Теселько П.А.1, Михалюк О.В.1
1Киевский национальный университет им. Т. Шевченко, Киев, Украина
Email: peter@univ.kiev.ua
Поступила в редакцию: 25 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.

Методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии выполнено исследование процесса образования и роста дефектов (преципитатов и дислокационных петель) при изотермическом распаде пересыщенного твердого раствора кислорода в выращенном методом Чохральского кремнии. Установлено, что рост кислородосодержащих преципитатов происходит за счет протекания диффузионных процессов, а образование дислокационных петель связано как с процессами коагуляции внедренных атомов кремния, так и с выдавливанием петель напряжениями, создающимися в окрестности преципитатов. PACS: 61.72.Cc, 61.10.Nz