Вышедшие номера
Рентгенодифракционные исследования особенностей кинетики роста кислородосодержащих преципитатов в Cz-кремнии
Новиков Н.Н.1, Теселько П.А.1, Михалюк О.В.1
1Киевский национальный университет им. Т. Шевченко, Киев, Украина
Email: peter@univ.kiev.ua
Поступила в редакцию: 25 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.

Методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии выполнено исследование процесса образования и роста дефектов (преципитатов и дислокационных петель) при изотермическом распаде пересыщенного твердого раствора кислорода в выращенном методом Чохральского кремнии. Установлено, что рост кислородосодержащих преципитатов происходит за счет протекания диффузионных процессов, а образование дислокационных петель связано как с процессами коагуляции внедренных атомов кремния, так и с выдавливанием петель напряжениями, создающимися в окрестности преципитатов. PACS: 61.72.Cc, 61.10.Nz
  1. M. Reiche, J. Reichel, W. Nitzche. Phys. Stat. Sol. (a) 107, 851 (1988)
  2. H. Bender, J. Vanhollemont. Phys. Stat. Sol. (a) 107, 455 (1988)
  3. W. Bergholz, W. Schroter. In: Proc. 7th Int. School "Defects in Crystals" / Ed. E. Mizera. World Scientific, Szczyrk, Poland (1985). P. 196
  4. H. Bender. Phys. Stat. Sol. (a) 86, 245 (1984)
  5. K.E. Kelton, R. Falster, D. Gambaro, M. Olmo, M. Comara, P.F. Wei. J. Appl. Phys. 85, 8097 (1999)
  6. J. Vanhellemont, C. Claeys. J. Appl. Phys. 62, 3960 (1987)
  7. M. Stavola. Physica B 145, 187 (1987)
  8. S.I. Olikhovskii, V.B. Molodkin, E.N. Kislovskii, E.G. Len, E.V. Pervak. Phys. Stat. Sol. (b) 231, 199 (2002)
  9. В.А. Макара, Н.Н. Новиков, В.Д. Пацай. ФТТ 47, 1792 (2005)
  10. М.А. Кривоглаз. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей и нейтронов на флуктуационных неоднородностях в неидеальных кристаллах. Наук. думка, Киев (1984). 288 с
  11. Е.Н. Гаврилов, Е.Н. Кисловский, В.Б. Молодкин, С.И. Олиховский. Металлофизика 14, 70 (1992)
  12. В.Г. Барьяхтар, Е.Н. Гаврилова, В.Б. Молодкин, С.И. Олиховский. Металлофизика 14, 68 (1992)
  13. В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния. "Интерпресс ЛТД", Киев (1997). 239 c
  14. J.C. Mikkelsen. Appl. Phys. Lett. 40, 336 (1982)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.