Экспериментально измерены и теоретически рассчитаны спектры вторичной электронной эмиссии (ВЭЭ) кремния с угловым разрешением. Спектры имеют характерную форму каскадных максимумов, возникающих в результате неупругого рассеяния электронов с возбуждением плазмонов, межзонных и внутризонных переходов, а также в результате распада генерируемых плазмонов на электрон-дырочные пары. Вторая производная спектров по энергии характеризуется осцилляциями, обусловленными особенностями электронной зонной структуры. Показано, что конечность времени жизни электрона tau (E) в состояниях с энергией E приводит к убыванию амплитуды этих осцилляции с ростом E пропорционально tau²(E), что позволяет получить экспериментальную зависимость длины свободного пробега электронов в кристалле относительно неупругих соударений в области энергий 2-15 эВ. В работе используется псевдопотенциальный расчет зонной структуры кремния, интерполированные энергетические зависимости заполнения и уширения уровней, учитывается в среднем упругое рассеяние электронов при вылете из кристалла, что дает некоторую бесструктурную добавку к спектру.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.