Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Создание бездислокационных ионно-легированных слоев кремния
1Научно-производственное объединение "Интеграл", Минск, Белоруссия
2Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
2Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Email: chelyadinski@bsu.dy
Поступила в редакцию: 10 января 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2008 г.
Исследована возможность подавления образования остаточных протяженных нарушений в имплантированном ионами бора кремнии методом, совмещающим эффекты пороговой дозы и аннигиляции точечных дефектов на примесях замещения. Определены условия имплантации, обеспечивающие получение бездислокационных ионно-легированных слоев кремния. PACS: 61.72.Tt, 61.80.-x, 61.72.Ji
- R.J. Schreutelkmap, J.S. Custer, J.R. Liefting, W.X. Lu, F.W. Saris. Mater. Sci. Rep. 6, 275 (1991)
- R. Jones, T.A.G. Eberliein, N. Pinho, B.J. Coomer, J.P. Goss, P.R. Briddon, S.Oberg. Nucl. Instrum. Meth. B 186, 10 (2002)
- Л.И. Федина, А.Л. Асеев. В кн.: Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Отв. ред. А.Л. Асеев. Изд-во СО РАН, Новосибирск (2004). С. 179
- L.I. Fedina, S.A. Song, A.L. Chuvilin, A.K. Gutakovskii, A.V. Latyshev. Springer. Proc. Phys. 107, 359 (2005)
- В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 49, 450 (2007)
- Q.-T. Zhao, Z.-L. Wang. Nucl. Instrum. Meth. B 108, 81 (1996)
- R. Delamare, E. Ntsotnzok, F. Labohm, Nucl. Instrum. Meth. B 186, 324 (2002)
- J.R. Liefting, R.J. Schreutelkamp, J. Vanhellemont, W. Vandervorst, K. Maex, J.S. Custer. Appl. Phys. Lett. 63, 1134 (1993)
- G.D. Watkin. Phys. Rev. B 12, 5824 (1975)
- J.C. North, W.M. Gibson. Appl. Phys. Lett. 16, 126 (1970)
- K. Brower. Phys. Rev. B 14, 872 (1976)
- Y.H. Lee, N.N. Gerasimenko, J.W. Corbett. Phys. Rev. B 14, 4506 (1976)
- L.J. Van der Pauw. Philips Res. Rep. 13, 1 (1958)
- W.J. Beezhold, K.L. Brower. IEEE Trans. Nucl. Sci. NS- 19, 209 (1973)
- G.D. Watkins. Mat. Sci. Forum / Eds. H. Heinrick, W. Jantssih. Trans. Tech. Publ. (1993). V. 143--147. Ptz. P. 5
- В.Т. Бублик, С.С. Горелик, А.Н. Дубровина. ФТТ 10, 2846 (1968)
- G. Fladda, K. Bjokqvist, L. Eriksson, D. Sigard. Appl. Phys. Lett. 16, 313 (1970)
- Н.А. Скакун, Н.П. Дикий, Н.П. Матяш, П.А. Светашев. ФТП 9, 755 (1975)
- J.W. Mayer, L. Eriksson, S.T. Picraux, J.A. Davis. Can. J. Phys. 46, 663 (1968)
- N.I. Berezhnov, A.R. Chelyadinskii, M. Jadan, Yu.R. Suprun-Belevich. Nucl. Instr. Meth. B 73, 357 (1993)
- В.Ф. Стельмах, В.Д. Ткачев, А.Р. Челядинский. ФТТ 20, 2196 (1978)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
