Вышедшие номера
Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма--конденсат
Перекрестов В.И.1, Корнющенко А.С.1, Косминская Ю.А.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: perv@phe.sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 3 мая 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2008 г.

Предложен принципиально новый технологический подход к формированию пористых структур металлов на изотропных подложках при конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона на постоянном токе. Проанализированы физические основы работы самосогласованных распылительных систем. При помощи растровой электронной микроскопии выявлены условия формирования таких основных вариантов пористости, как слабосвязанные между собой микро- и нанокристаллы, а также трехмерные лабиринтные структуры. Установлено, что необходимыми основными предпосылками порообразования являются стационарность процесса и близость к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат. Работа выполнена при финансировании Министерства образования и науки Украины (проект N 71.03.03.07-08). PACS: 68.55.-a, 81.15.Ef
  1. В.И. Перекрестов, С.Н. Кравченко, А.В. Павлов. ФММ 88, 5, 72 (1999)
  2. В.И. Перекрестов, А.В. Коропов, С.Н. Кравченко. ФТТ 44, 1131 (2002)
  3. В.И. Перекрестов. Письма в ЖТФ 39, 19, 41 (2005)
  4. В.И. Перекрестов, Ю.А. Косминская. Письма в ЖЭТФ 78, 4, 258 (2003)
  5. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. УФН 168, 1083 (1998)
  6. Ч. Пул, Ф. Оуэнс. Нанотехнологии. Техносфера, М. (2006). 336 с
  7. А.А. Чернов. Процессы кристаллизации. Наука, М. (1980). Т. 3. С. 7
  8. Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майселла, Р. Гленга. Сов. радио, М. (1977). Т. 1. 662 с
  9. А.Г. Жиглинский, В.В. Кучинский. Массоперенос при взаимодействии плазмы с поверхностью. Энергоатомиздат, М. (1991). 206 с
  10. Б.С. Данилин. Применение низкотемпературной плазмы для наненсения тонких пленок. Энергоатомиздат, М. (1989). 328 с
  11. В.И. Перекрестов, С.Н. Кравченко. ПТЭ 3, 123 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.