Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Особенности определения механических характеристик тонких пленок методом наноиндентирования
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия 
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 17 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.
Исследованы твердость и модуль упругости тонких пленок Cu на подложках Si, Ti, Cu и Al. Показано, что применение метода Оливера-Фарра в сочетании с методикой определения истинной твердости позволяет однозначно определить твердость тонких пленок Cu при различных соотношениях твердости пленки и подложки. Установлено, что корректное измерение модуля упругости тонких пленок методом Оливера-Фарра возможно, лишь когда пленка и подложка обладают одинаковыми упругими свойствами. Для определения модуля упругости пленок с помощью параметра P/S2 необходимо, чтобы пленка и подложка имели близкие значения как твердости, так и модуля упругости. Работа выполнена при финансовой поддержке Сибирского отделения Российской академии наук (проекты N 8.1.1 и 2.16). PACS: 62.20.-x, 62.25.+g, 68.60.Bs
- A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Scripta Mater. 40, 1191 (1999)
- Ю.И. Головин, А.И. Тюрин, В.В. Хлебников. ЖТФ 75, 91 (2005)
- T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 51 (1997)
- Ю.И. Головин, В.И. Иволгин, А.И. Тюрин, В.А. Хоник. ФТТ 45, 1209 (2003)
- A. Gouldstone, H.-J. Koh, K.-Y. Zeng, A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Acta Mater. 48, 2277 (2000)
- Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 1624 (2000)
- Д.В. Штанский, С.А. Кулинич. ФТТ 45, 1122 (2003)
- M.A. Phillips, B.M. Clemens, W.D. Nix. Acta Mater. 51, 3171 (2003)
- A.A. Volinsky, N.R. Moody, W.W. Gerberich. J. Mater. Res. 19, 2650 (2004)
- P. Mishra, D. Ghose. Surf. Coat. Technol. 201, 965 (2006)
- R. Saha, Z. Xue, Y. Huang, W.D. Nix. J. Mech. Phys. Sol. 49, 1997 (2001)
- W. Oliver, G. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992)
- T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 57 (1997)
- R. Saha, W.D. Nix. Acta Mater. 50, 23 (2002)
- D.E. Kramer, A.A. Volinsky, N.R. Moody, W.W. Gerberich. J. Mater. Res. 16, 3150 (2001)
- B. Jonsson, S. Hogmark. Thin Solid Films 114, 257 (1984)
- P.J. Burnett, D.S. Rickerby. Thin Solid Films 148, 51 (1987)
- J.R. Tuck, A.M. Korsunsky, S.J. Bull, R.I. Davidson. Surf. Coat. Technol. 137, 217 (2001)
- А.В. Панин, А.Р. Шугуров, К.В. Оскомов. ФТТ 47, 1973 (2005)
- D.L. Joslin, W.C. Oliver. J. Mater. Res. 5, 123 (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
