Вышедшие номера
Особенности определения механических характеристик тонких пленок методом наноиндентирования
Шугуров А.Р.1, Панин А.В.1, Оскомов К.В.2
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 17 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.

Исследованы твердость и модуль упругости тонких пленок Cu на подложках Si, Ti, Cu и Al. Показано, что применение метода Оливера-Фарра в сочетании с методикой определения истинной твердости позволяет однозначно определить твердость тонких пленок Cu при различных соотношениях твердости пленки и подложки. Установлено, что корректное измерение модуля упругости тонких пленок методом Оливера-Фарра возможно, лишь когда пленка и подложка обладают одинаковыми упругими свойствами. Для определения модуля упругости пленок с помощью параметра P/S2 необходимо, чтобы пленка и подложка имели близкие значения как твердости, так и модуля упругости. Работа выполнена при финансовой поддержке Сибирского отделения Российской академии наук (проекты N 8.1.1 и 2.16). PACS: 62.20.-x, 62.25.+g, 68.60.Bs