Релаксация заряда в проводящих диэлектрических пленках с мелкими и глубокими ловушками
Барыбин А.А.1, Шаповалов В.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: VIShapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2008 г.
Аналитически решена нестационарная граничная задача релаксации заряда, инжектированного в диэлектрическую пленку, с учетом ее проводимости и захвата носителей ловушками, имеющими конечную скорость разрядки. Выполнен анализ поведения заряда в однозонном и двухзонном режимах релаксации. Общие аналитические выражения дают как частный случай ранее опубликованные результаты. Численные расчеты и анализ известных из литературы экспериментальных данных по электретному состоянию оксидных пленок, осажденных на металлические подложки, подтвердили применимость разработанной модели диэлектрической релаксации. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 07-03-00543-a). PACS: 72.20.Jv, 73.50.Gr
- M. Faraday. Experimental researches in electricity. Taylor, London (1839)
- O. Heaviside. Electrical papers. Chelsea, N. Y. (1892)
- E.P. Adams. J. Frankl. Inst. 204, 469 (1927)
- B. Gross. Phys. Rev. 66, 26 (1944); J. Chem. Phys. 17, 886 (1949); Brit. J. Appl. Phys. 1, 259 (1950)
- W.F.G. Swann. Phys. Rev. 78, 811 (1950); J. Frankl. Inst. 250, 219 (1950); 255, 513 (1953); 256, 167 (1953)
- А.Н. Губкин, Г.И. Сканави. ЖЭТФ 32, 140 (1957)
- А.Н. Губкин. ЖТФ 27, 1954 (1957)
- Э.И. Адирович. ДАН СССР 137, 1335 (1961); ФТТ 3, 2048 (1961)
- A. Many, G. Rakavy. Phys. Rev. 126, 1980 (1962)
- Н.П. Богородицкий, Д.А. Таирова, В.С. Сорокин. ФТТ 6, 2301 (1964)
- H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 41, 4004 (1970)
- I.P. Batra, K.K. Kanazawa, H. Seki. J. Appl. Phys. 41, 3416 (1970)
- I.P. Batra, K.K. Kanazawa, B.H. Schechtman, H. Seki. J. Appl. Phys. 42, 1124 (1971)
- H. Seki, I.P. Batra. J. Appl. Phys. 42, 2407 (1971)
- H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 42, 4724 (1971)
- А.И. Руденко. ФТП 5, 2383 (1971)
- H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 43, 2927 (1972)
- K.K. Kanazawa, I.P. Batra, H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 43, 719 (1972)
- H.J. Wintle. Thin Solid Films 21, 83 (1974)
- В.И. Архипов, А.И. Руденко. ФТП 10, 729 (1976)
- P.W. Chudleigh. Appl. Phys. Lett. 48, 4591 (1977)
- В.Н. Лобушкин, В.Н. Таиров. Электрохимия 12, 779 (1976).
- В.М. Фридкин, И.С. Желудев. Фотоэлектреты и электрофотографический процесс. Изд-во АН СССР, М. (1960)
- О.А. Мяздриков, В.Е. Манойлов. Электреты. Энергия, М.-Л. (1962)
- А.Н. Губкин. Электреты. Наука, М. (1978)
- Электреты / Под ред. Г. Сесслера. Мир. М. (1983). [Electrets / Ed. G.M. Sessler. Springer-Verlag, Berlin (1980).]
- Ю.А. Гороховатский, А.Н. Губкин, В.К. Малиновский, Б.И. Стурман. ФТТ 24, 2483 (1982)
- В.И. Архипов, А.И. Руденко. ФТП 16, 1798 (1982)
- В.В. Брыксин, Л.И. Коровин. ФТТ 26, 2456; 3415; 3651 (1984)
- В.В. Брыксин, Л.И. Коровин, Ю.И. Кузьмин. ФТТ 28, 148 (1986)
- В.В. Брыксин, Л.И. Коровин, Ю.И. Кузьмин. ФТТ 28, 2728 (1986); 1323 (1987)
- М.П. Петров, С.И. Степанов, А.В. Хоменко. Фоточувствительные электрооптические среды в голографии и оптической обработке информации. Наука, Л. (1983)
- М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах. Мир, М. (1973). [M.A. Lampert, P. Mark. Current injection in solids. Academic Press, N. Y. (1970).]
- А.А. Барыбин. Волны в тонкопленочных полупроводниковых структурах с горячими электронами. Наука, М. (1986)
- В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроводников. Наука, М. (1977)
- Ю.И. Кузьмин. ЖТФ 69, 71 (1999)
- И.С. Градштейн, И.М. Рыжик. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. Наука, М. (1971).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.