Вышедшие номера
Влияние типа и концентрации легирующей примеси на динамику бета-индуцированного изменения микротвердости кремния
Головин Ю.И.1, Дмитриевский А.А.1, Сучкова Н.Ю.1
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Email: dmitr2002@tsu.tmb.ru
Поступила в редакцию: 18 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.

Исследовано влияние типа и концентрации легирующей примеси (P, Sb, B) на динамику преобразования подсистемы структурных (собственных и радиационных) дефектов кремния в условиях низкоинтенсивного электронного облучения. Предложена качественная модель формирования комплексов вторичных радиационных дефектов, ответственных за максимумы бета-индуцированного разупрочнения монокристаллов кремния. Работа выполнена в рамках Приоритетного национального проекта "Образование" Министерства образования и науки РФ, а также при финансовой поддержке РФФИ (гранты N 06-02-96321 и 06-02-96316). PACS: 61.72.Ji, 61.72.Ss
  1. Springer handbook of nanotechnology / Ed. B. Bhushan. Springer (2004). 1222 p
  2. В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности. Наука, М. (1990). С. 212
  3. J. Lalita, B.G. Svensson, C. Jagadish, A. Hallen. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 127/128, 69 (1997)
  4. G. Golan, E. Rabinovich, A. Inberg, A. Axelevitch, M. Oksman, Y. Rosenwaks, A. Kozlovsky, P.G. Rancoita, M. Rattaggi, A. Seidman, N. Croitoru. Microelectronics Reliability 39, 1497 (1999)
  5. Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, Н.Ю. Сучкова. ФТТ 48, 262 (2006)
  6. Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, Н.Ю. Сучкова, М.Ю. Толотаев. Поверхность. Рентгеновские, синхронные и нейтронные исследования 4, 12 (2007)
  7. М.В. Бадылевич, И.В. Блохин, Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, С.В. Карцев, Н.Ю. Сучкова, М.Ю. Толотаев. ФТП 40, 1409 (2006)
  8. А.В. Васильев. ФТП 6, 603 (1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.