Особенности травления в плазме спиралевидных структур PbTe на подложках BaF2(111)
Зимин С.П.1, Горлачев Е.С.1, Кутровская С.В.2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Владимирский государственный университет, Владимир, Россия
Email: zimin@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 28 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2009 г.
Методами атомно-силовой микроскопии исследована морфология поверхности пленок теллурида свинца с образованиями спиралевидной формы на подложках фторида бария ориентации (111) в исходном состоянии и после обработки в аргоновой плазме. Показано, что присутствие крупных спиралевидных ступенчатых структур в области выходов пронизывающих дислокаций приводит к специфическим явлениям при распылении. Определены основные особенности модификации рельефа поверхности и взаимосвязь формирующихся одиночных и сгруппированных микровыступов с исходным рельефом и дислокациями. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке программы "Развитие научного потенциала высшей школы" (проект N 2.1.1/466). PACS: 68.37.Ps, 68.55.J-, 81.65.Cf, 52.77.Bn
- F.C. Frank. Acta Cryst. 4, 497 (1951)
- W.K. Burton, N. Cabrera, F.C. Frank. Phil. Trans. R. Soc. (London) A 243, 299 (1951)
- A.Karma, M. Plapp. Phys. Rev. Lett. 81, 4444 (1998)
- M. Boberl, W. Heiss, T. Schwarzl, K. Wiesauer, G. Springholz. Appl. Phys. Lett. 82, 4065 (2003)
- M. Arnold, D. Zimin, H. Zogg. Appl. Phys. Lett. 87, 141 103 (2005)
- G. Springholz, A.Y. Ueta, N. Frank, G. Bauer. Appl. Phys. Lett. 69, 2822 (1996)
- G. Springholz. Appl. Phys. Lett. 75, 3099 (1999)
- U.A. Mengui, E. Abramof, P.H.O. Rappl, A.Y. Ueta. Brazilian J. Phys. 36, 324 (2006)
- H.F. Wu, H.J. Zhang, Y.H. Lu, T.N. Xu, J.X. Si, H.Y. Li, S.N. Bao, H.Z. Wu, P. He. J. Cryst. Growth 294, 179 (2006)
- T.N. Xu, H.Z. Wu, J.X. Si, C.F. Cao. Appl. Surf. Sci. 253, 5457 (2007)
- S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, I.I. Amirov, M.N. Gerke, H. Zogg, D. Zimin. Semicond. Sci. Technol. 22, 929 (2007)
- S.P. Zimin, E.A. Bogoyavlenskaya, E.S. Gorlachev, V.V. Naumov, D. Zimin, H. Zogg, M. Arnold. Semicond. Sci. Technol. 22, 1317 (2007)
- С.П. Зимин, Е.С. Горлачев, И.И. Амиров, М.Н. Герке. Микроэлектроника 37, 200 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.