Нормальный и аномальный гистерезис проводимости в канале прозрачного сегнетоэлектрического транзистора
Титков И.Е.1, Пронин И.П.1, Каптелов Е.Ю.1, Делимова Л.А.1, Линийчук И.А.1, Грехов И.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ITitkov@mail.ioffe.ru
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Созданы и исследованы структуры прозрачного сегнетоэлектрического полевого транзистора PZT/SnO2/Al2O3 с "нормальным" и "аномальным" гистерезисом проводимости канала. Впервые получена "нормальная" петля модуляции в данной структуре. В качестве канала полевого транзистора использовались легированные сурьмой эпитаксиальные пленки SnO2/Al2O3, напыленные YAG-лазером из металлической мишени. Сегнетоэлектрические пленки PZT осаждались магнетронным распылением. Распределение глубоких уровней на границе PZT/SnO2 измерялось модифицированным методом релаксационных токов. Установлено, что соотношение поляризационного заряда и заряда ловушек на границе PZT/SnO2 критически влияет на направление гистерезиса проводимости канала. Работа выполнена при поддержке грантов ОФН, Президиума РАН и РФФИ (N 06-08-01370a). PACS: 77.80.Dj, 73.50.Td, 85.30.Tv
- K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiy, T.M. Hirano, H. Hosono. Science 300, 1269 (2003)
- H. Ohta, H. Hosono. Materials Today 7, 6, 42 (2004)
- J.F. Wager. Science 300, 1245 (2003)
- M.W.J. Prins, S.E. Zinnemers, J.F.M. Cillessen, J.B. Giesbers. Appl. Phys. Lett. 70, 4, 458 (1997)
- I.E. Titkov, I.P. Pronin, I.A. Liniichuk, I.V. Grekov. Integrated Ferroelectrics 72, 53 (2005)
- E. Tokumitsu, M. Senoo, E. Shin. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 902E, 0902-T10-54.1 (2006)
- Y.-S. Kang, Q. Fan, Bo Xiao, Ya.I. Alivov, J. Xie, N. Onojima, Y.-S. Park. Appl. Phys. Lett. 88, 123 508 (2006)
- Shu-Yau Wu. IEEE Trans. Electron Devices 21, 8, 499 (1974)
- S.-M. Koo, S. Khartsev, C.-M. Zetterling, A. Grishin, M. Ostling. Appl. Phys. Lett. 83, 19, 3975 (2003)
- J.-P. Han, S.-M. Koo, C.A. Richter, E.M. Vogel. Appl. Phys. Lett. 85, 8, 1439 (2004)
- И.Е. Титков, И.П. Пронин, Д.В. Машовец, Л.А. Делимова, И.А. Линейчук, И.В. Грехов. ФТП 39, 7, 890 (2005)
- T.P. Ma, J.-P. Han. U.S. Patent N 6067244 (2000)
- I. Titkov, I. Pronin, L. Delimova, I. Linichuk, I. Grekhov. Thin Solid Films 515, 24, 8748 (2007)
- A.A. Gorbunov, W. Pompe, A. Sewing, S.V. Gaponov, A.D. Akhsakhalyan, I.G. Zabrodin, I.A. Kas'kov, E.B. Kluenkov, A.P. Morozov, N.N. Salaschenko, R. Dietsch, H. Mai, S. Vollmar. Appl. Surf. Sci. 96/98, 649 (1996)
- L. Delimova, I. Grekhov, D. Mashovets, S. Tyaginov, S. Shin, J.-M. Koo, S.-P. Kim, Y. Park. Appl. Phys. Lett. 87, 192 101 (2005)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.