Электронная микроскопия структуры композиций пленок титаната бария-стронция на подложках Pt-Ti-SiO2-Si после лазерного отжига
Жигалина О.М.1, Хмеленин Д.Н.1, Воротилов К.А.2, Сигов А.С.2, Лебо И.Г.2
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
2Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), Москва, Россия
Email: vorotilov@mirea.ru
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Исследовано влияние лазерного отжига на структуру пленок титаната бария-стронция, полученных методом химического осаждения из растворов. Показано, что воздействие лазерного излучения инициирует процессы кристаллизации и рекристаллизации пленок, а также вызывает аморфизацию внешней поверхности пленки. Работа выполнена при поддержке гранта аналитической ведомственной целевой программы "Развитие научного потенциала высшей школы (2006-2008 гг.)", подраздел N 2.1.2, и гранта РФФИ N 07-02-12259-офи. PACS: 77.84.Dy, 68.37.Lp, 68.37.Og
- О.М. Жигалина, П.В. Бурмистрова, А.Л. Васильев, В.В. Роддатис, К.А. Воротилов, А.С. Сигов. Микроэлектроника 3, 1 (2001)
- O. Balduc, W. Krasser, S. Hofman. Integrated Ferroelectrics 30, 29 (2000)
- M. Knite, G. Mezinskis, L. Shebanovs, I. Pedaja, A. Stenberg. Ferroelectics 286, 321 (2003)
- K.A. Vorotilov, V.D. Zvorykin, I.G. Lebo, A.S. Sigov. J. Russian Laser Research 25, 234 (2004)
- I.G. Lebo. J. Russian Laser Research 26, 252 (2005)
- O.M. Zhigalina, K.A. Vorotilov, A.S. Sigov, A.S. Kumskov. Ferroelectrics 335, 13 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
