Особенности формирования кристаллической структуры цирконата-титаната свинца в системах Si-SiO2-Ti(TiO2)-Pt-Pb(ZrxTi1-x)O3
Воротилов К.А.1, Жигалина О.М.2, Васильев В.А.1, Сигов А.С.1
1Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), Москва, Россия
2Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
Email: vorotilov@mirea.ru
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Исследовано влияние структуры нижнего электрода на кристаллическую структуру и электрофизические свойства тонких пленок цирконата-титаната свинца, сформированных методом химического осаждения из растворов. Выявлена роль процессов диффузии и окисления Ti, приводящих к частичной разориентировке столбчатых зерен перовскитной структуры пленок. Показано, что предварительное окисление Ti обеспечивает повышение термической стабильности металлизационной системы. Обнаружен эффект влияния границ раздела в слое Pt на процесс гетерогенного зарождения перовскитных зерен. Работа выполнена при поддержке гранта аналитической ведомственной целевой программы "Развитие научного потенциала высшей школы (2006-2008 гг.)", подраздел N 2.1.2, и гранта РФФИ N 07-02-12259-офи. PACS: 77.84.Dy, 77.90.+k, 68.37.-d, 77.55.+f
- К.А. Воротилов, А.С. Сигов. Нано- и микросистемная техника 10, 30 (2008)
- O.M. Zhigalina, P.V. Burmistrova, A.L. Vasiliev, V.V. Roddatis, A.S. Sigov, K.A. Vorotilov. Ferroelectrics 286, 311 (2003)
- R.W. Schwartz, J.A. Voigt, B.A. Tuttle, D.A. Payne, T.L. Reichert, R.S. DaSalla. J. Mat. Res. 12, 444 (1997)
- T. Schneller, R. Waser. J.Sol-Gel Sci. Technol. 42, 337 (2007)
- S.-Y. Chen, I.W. Chen. Am. Ceram. Soc. 77, 2332 (1994)
- G.J. Norga, F. Vasiliu, L. Fe, D.J. Wouters, O. Van Der Biest. J. Mater. Res. 18, 1232 (2003)
- Y.J. Song, Y. Zhu, S.B. Desu. Appl. Phys. Lett. 72, 2686 (1998)
- K.G. Brooks, I.M. Reaney, I.M. Klissurska, Y. Huang, L.A. Bursill. J. Mater. Res. 9, 2540 (1994)
- Y. Liu, P.P. Phule. J. Am. Ceram. Soc. 79, 495 (1996)
- О.М. Жигалина, К.А. Воротилов, Д.Г. Хмеленин, А.С. Сигов. Нано- и микросистемная техника 11, 17 (2008)
- K.A. Vorotilov, M.I. Yanovskaya, E.P. Turevskaya, A.S. Sigov. J. Sol-Gel Sci. Technol. 16, 109 (1999)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
