Издателям
Вышедшие номера
Механизм микродефектов при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния
Сорокин Л.М., Ситникова А.А., Червоный И.Ф., Фалькевич Э.С.
Выставление онлайн: 20 октября 1991 г.

На основе изучения распределения микродефектов по картинам селективного травления в сопоставлении с данными расчета температурного профиля вдоль растущего слитка в зависимости от скорости роста определены температуры образования микродефектов в бестигельных монокристаллах кремния диаметром ~30 мм. Предложен механизм образования микродефектов в таком кремнии, основанный на учете взаимодействия преимущественного типа собственных точечных дефектов с остаточными ростовыми примесями (атомами кислорода и углерода).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.