Фазовые превращения в тонких пленках оксида титана в процессе химического синтеза при резко неравновесных условиях
Беляев А.П.1, Малыгин А.А.1, Антипов В.В.1, Рубец В.П.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический интситут (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Email: Belyaev@lti-gti.ru
Поступила в редакцию: 21 мая 2008 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.
Сообщается о результатах структурных и оптических исследований процессов формирования пленок оксида титана (TiO2), синтезируемых на стеклянной подложке методом ML (ALD). Приводятся электронограммы, микрофотографии, рентгенограммы и электронные спектры, измеренные на разных стадиях роста. Показано, что процесс формирования пленок включает в себя образование аморфного слоя, возникновение крупнозернистой структуры, содержащей анатаз, и, наконец, постепенное увеличение степени кристаллизации. Выявлен нетривиальный эффект: образование кристаллической формы рутил при температуре подложки 493 K. Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант N 07-03-00366). PACS: 63.50.-x, 63.50.Gh, 64.70.Nd
- K.S. Finie, G. Trani, K.T. Short, D.R.G. Mitchell, D.J. Attard, Barlett, C.J. Barbe. Thin Solid Films 440, 109 (2003)
- E.S. Sosnov, V.P. Dorofeev, A.A. Malkov, A.A. Malygin, N.A. Kulikov, G.L. Brusilovsky. ФТП 41, 518 (2007)
- А.П. Беляев, В.П. Рубец. ФТП 35, 294 (2001)
- J. Aarik, A. Aidla, H. Mandar, T. Uustare, M. Schuisky, A. Harsta. J. Cryst. Growth 242, 189 (2002)
- Landolt-Bornstein. Numerical data and functional relationships in science and technology. V. III/17g: Semiconductor. Springer-Verlag (1984). 413 p
- В. Шретер, К.-Х. Лаутеншлегер, Х. Бибрак, А. Шнабель. Химия. Справ. Изд. Пер. с нем. 2-е изд. Химия, М. (2000). С. 611
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук