Вышедшие номера
Фазовые превращения в тонких пленках оксида титана в процессе химического синтеза при резко неравновесных условиях
Беляев А.П.1, Малыгин А.А.1, Антипов В.В.1, Рубец В.П.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический интситут (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Email: Belyaev@lti-gti.ru
Поступила в редакцию: 21 мая 2008 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.

Сообщается о результатах структурных и оптических исследований процессов формирования пленок оксида титана (TiO2), синтезируемых на стеклянной подложке методом ML (ALD). Приводятся электронограммы, микрофотографии, рентгенограммы и электронные спектры, измеренные на разных стадиях роста. Показано, что процесс формирования пленок включает в себя образование аморфного слоя, возникновение крупнозернистой структуры, содержащей анатаз, и, наконец, постепенное увеличение степени кристаллизации. Выявлен нетривиальный эффект: образование кристаллической формы рутил при температуре подложки 493 K. Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант N 07-03-00366). PACS: 63.50.-x, 63.50.Gh, 64.70.Nd
  1. K.S. Finie, G. Trani, K.T. Short, D.R.G. Mitchell, D.J. Attard, Barlett, C.J. Barbe. Thin Solid Films 440, 109 (2003)
  2. E.S. Sosnov, V.P. Dorofeev, A.A. Malkov, A.A. Malygin, N.A. Kulikov, G.L. Brusilovsky. ФТП 41, 518 (2007)
  3. А.П. Беляев, В.П. Рубец. ФТП 35, 294 (2001)
  4. J. Aarik, A. Aidla, H. Mandar, T. Uustare, M. Schuisky, A. Harsta. J. Cryst. Growth 242, 189 (2002)
  5. Landolt-Bornstein. Numerical data and functional relationships in science and technology. V. III/17g: Semiconductor. Springer-Verlag (1984). 413 p
  6. В. Шретер, К.-Х. Лаутеншлегер, Х. Бибрак, А. Шнабель. Химия. Справ. Изд. Пер. с нем. 2-е изд. Химия, М. (2000). С. 611

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.