Кинетика процесса высокотемпературной преципитации в бездислокационных монокристаллах кремния
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Классический приватный университет, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.
Проведен расчет дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на основе приближенного решения дифференциальных уравнений в частных производных типа Фоккера-Планка. Показано, что процесс преципитации начинается вблизи фронта кристаллизации и обусловлен исчезновением избыточных собственных точечных дефектов на стоках, роль которых играют примеси кислорода и углерода.
- В.И. Таланин. Моделирование и свойства дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния. ГУ "ЗИГМУ", Запорожье (2007). 275 с
- V.I. Talanin, I.E. Talanin. In: New research on semiconductors / Ed. T.B. Elliot. Nova Science Publ., Inc., N. Y. (2006). P. 31
- M. Itsumi. J. Cryst. Growth 237--239, 1773 (2002)
- V.V. Voronkov. J. Cryst. Growth 59, 625 (1982)
- T. Sinno, R.A. Brown. J. Electrochem. Soc. 146, 2300 (1999)
- M.S. Kulkarni, V.V. Voronkov, R. Falster. J. Electrochem. Soc. 151, G 663 (2004)
- A.I. Prostomolotov, N.A. Verezub. Solid State Phenomena 131--133, 283 (2008)
- M.S. Kulkarni. J. Cryst. Growth 303, 438 (2007)
- M.S. Kulkarni. J. Cryst. Growth 310, 324 (2008)
- M. Akatsuka, M. Okui, S. Umeno, K. Sueoka. J. Electrochem. Soc. 150, G 587 (2003)
- В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 49, 450 (2007)
- V.I. Talanin, I.E. Talanin, A.A. Voronin. Can. J. Phys. 85, 1459 (2007)
- В.И. Таланин. Изв. вузов. Материалы электрон. техники 4, 27 (2007)
- S. Senkader, J. Esfandyari, G. Hobler. J. Appl. Phys. 78, 6469 (1995)
- М.М. Белова, М.Н. Москальков, А.Е. Рудич, С.И. Олиховский, Е.В. Кочелаб. Металлофизика и новейшие технологии 29, 427 (2007)
- V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys. 86, 2100 (1999)
- J. Vanhellmont. J. Appl. Phys. 78, 4297 (1995)
- J. Vanhellmont, C. Claeys. J. Appl. Phys. 62, 3960 (1987)
- V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys. 91, 5802 (2002)
- T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5695 (1999)
- M. Itsumi, M. Maeda, S. Ohfuji, T. Ueki. Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5720 (1999)
- H. Yamanaka. Jpn. J. Appl. Phys. 33, 3319 (1994)
- Y. Yanase, H. Nishihata, T. Ochiai, H. Tsuya. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1 (1998)
- T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda, K. Yoshida, A. Takaoka, S. Nakajima. Jpn. J. Appl. Phys. 37, L 771 (1998)
- M. Albrecht, S.B. Aldabergenova, Sh.B. Baiganatova, G. Frank, T.I. Taurbaev, S. Christiansen, H.P. Strunk. Cryst. Res. Technol. 35, 899 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук