Вышедшие номера
Кинетика процесса высокотемпературной преципитации в бездислокационных монокристаллах кремния
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Классический приватный университет, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Проведен расчет дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на основе приближенного решения дифференциальных уравнений в частных производных типа Фоккера--Планка. Показано, что процесс преципитации начинается вблизи фронта кристаллизации и обусловлен исчезновением избыточных собственных точечных дефектов на стоках, роль которых играют примеси кислорода и углерода.
  1. В.И. Таланин. Моделирование и свойства дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния. ГУ "ЗИГМУ", Запорожье (2007). 275 с
  2. V.I. Talanin, I.E. Talanin. In: New research on semiconductors / Ed. T.B. Elliot. Nova Science Publ., Inc., N. Y. (2006). P. 31
  3. M. Itsumi. J. Cryst. Growth 237--239, 1773 (2002)
  4. V.V. Voronkov. J. Cryst. Growth 59, 625 (1982)
  5. T. Sinno, R.A. Brown. J. Electrochem. Soc. 146, 2300 (1999)
  6. M.S. Kulkarni, V.V. Voronkov, R. Falster. J. Electrochem. Soc. 151, G 663 (2004)
  7. A.I. Prostomolotov, N.A. Verezub. Solid State Phenomena 131--133, 283 (2008)
  8. M.S. Kulkarni. J. Cryst. Growth 303, 438 (2007)
  9. M.S. Kulkarni. J. Cryst. Growth 310, 324 (2008)
  10. M. Akatsuka, M. Okui, S. Umeno, K. Sueoka. J. Electrochem. Soc. 150, G 587 (2003)
  11. В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 49, 450 (2007)
  12. V.I. Talanin, I.E. Talanin, A.A. Voronin. Can. J. Phys. 85, 1459 (2007)
  13. В.И. Таланин. Изв. вузов. Материалы электрон. техники 4, 27 (2007)
  14. S. Senkader, J. Esfandyari, G. Hobler. J. Appl. Phys. 78, 6469 (1995)
  15. М.М. Белова, М.Н. Москальков, А.Е. Рудич, С.И. Олиховский, Е.В. Кочелаб. Металлофизика и новейшие технологии 29, 427 (2007)
  16. V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys. 86, 2100 (1999)
  17. J. Vanhellmont. J. Appl. Phys. 78, 4297 (1995)
  18. J. Vanhellmont, C. Claeys. J. Appl. Phys. 62, 3960 (1987)
  19. V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys. 91, 5802 (2002)
  20. T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5695 (1999)
  21. M. Itsumi, M. Maeda, S. Ohfuji, T. Ueki. Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5720 (1999)
  22. H. Yamanaka. Jpn. J. Appl. Phys. 33, 3319 (1994)
  23. Y. Yanase, H. Nishihata, T. Ochiai, H. Tsuya. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1 (1998)
  24. T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda, K. Yoshida, A. Takaoka, S. Nakajima. Jpn. J. Appl. Phys. 37, L 771 (1998)
  25. M. Albrecht, S.B. Aldabergenova, Sh.B. Baiganatova, G. Frank, T.I. Taurbaev, S. Christiansen, H.P. Strunk. Cryst. Res. Technol. 35, 899 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.