Вышедшие номера
Кинетика процесса высокотемпературной преципитации в бездислокационных монокристаллах кремния
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Классический приватный университет, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Проведен расчет дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на основе приближенного решения дифференциальных уравнений в частных производных типа Фоккера-Планка. Показано, что процесс преципитации начинается вблизи фронта кристаллизации и обусловлен исчезновением избыточных собственных точечных дефектов на стоках, роль которых играют примеси кислорода и углерода.