Диффузия Sn по чистым поверхностям кремния
Долбак А.Е.1, Ольшанецкий Б.З.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: olshan@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 14 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.
Методами электронной Оже-спектроскопии и дифракции медленных электронов изучена диффузия Sn по поверхностям кремния (111), (100) и (110). Установлен механизм диффузии и получены температурные зависимости коэффициентов диффузии. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 07-02-00274).
- Ю.Л. Гаврилюк, В.Г. Лившиц. Поверхность 4, 82(1983)
- A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky. Central Eur. J. Phys. 4, 310 (2006)
- A.E. Dolbak, R.A. Zhachuk, B.Z. Olshanetsky. Central Eur. J. Phys. 2, 254 (2004)
- A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.I. Stenin, S.A. Teys, T.A. Gavrilova. Surf. Sci. 218, 37 (1989)
- А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий, С.А. Тийс. Поверхность 11, 29 (1996)
- M.Y. Lee, P.A. Bennett. Phys. Rev. Lett. 75, 4460 (1996)
- A.E. Dolbak, R.A. Zhachuk, B.Z. Olshanetsky. Central Eur. J. Phys. 1, 463 (2003)
- A. Cricenti, M. Gothelid, G. Le Lay. Surf. Sci. 382, 182 (1997)
- M. Zinke-Allmang, L.Cl. Feldman, S. Nakahara. Appl. Phys. Lett. 51, 975 (1987)
- P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Webeer, N.C. Mac-Donald. Handbook of Auger electron spectroscopy. Phys. Electronics Ind., Inc., Minnesota (1976). 253 p
- T. Ichikawa. Surf. Sci. 140, 37 (1984)
- C. Tornevik, M. Gothelid, M. Hammar, U.O. Karlson, N.G. Nilsson, S.A. Flodstrom, C. Wigren, M. Ostling. Surf. Sci. 314, 179 (1994)
- Y. Ymamoto, S. Ino, T. Ichikawa. Jpn. J. Appl. Phys. 25 L 331 (1986)
- H.M. Zhang, S.T. Jemander, N. Lin, G.V. Hansson, R.I.G. Uhrberg. Surf. Sci. 531, 21 (2003)
- J.C. Glueckstein, M.M.R. Evans, J. Nogami. Surf. Sci. 415, 80 (1998)
- K. Ueda, K. Kinoshita, M. Mannami. Surf. Sci. 145, 261 (1984).
- M. Pedio, A. Cricenti. Surf. Sci. 374, 251 (1997)
- Y. Kimura, K. Takayanagi. Surf. Sci. 283, 349 (1993)
- Y. Yamamoto. Surf. Sci. 281, 253 (1993)
- T. An, M. Yoshimura, K. Ueda. Appl. Surf. Sci. 130--132, 118 (1998)
- P. Kringhoj, A.N. Larsen. Phys. Rev. 56, 6396 (1997)
- T.H. Yeh, S.M. Hu, R.H. Kastl. J. Appl. Phys. 39, 4266 (1968)
- Y. Akasaka, K. Horie, G. Nakamura, K. Tsukamoto, Y. Yukimoto. Jpn. J. Appl. Phys. 13, 1533 (1974)
- H. Fujita, J. Chhem. Phys. 21, 700 (1953)
- Р.Ш. Малкович. Математика диффузии в полупроводниках. Наука, СПб. (1999). 389 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.