Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Электронно-стимулированная десорбция отрицательных ионов O^- с окисленной поверхности O/Ru

Потехина Н.Д.¹, Соловьев С.М.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Email: Soloviev@ms.ioffe.rssi.ru

Поступила в редакцию: 25 июня 2009 г.

Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследована электронно-стимулированная десорбция (ЭСД) отрицательных ионов кислорода с поверхности O/Ru, которая является дополнительной причиной разрушения защитного окисного слоя зеркал, используемых в ультрафиолетовой литографии. Определено сечение деградации слоя O/Ru за счет ЭСД ионов O⁺, O^- и атомов O, которое равно 1.6·10^-19 cm². Из сравнения зависимостей выхода ЭСД ионов O⁺ и O^- от энергии облучающих электронов E с сечением ионизации остовного уровня адсорбата sigma_{O 2s}(E) показано, что основным каналом ЭСД ионов O^- является ионизация уровня O 2s.

T.E. Madey, N.S. Faradzhev, B.V. Yakshinskiy, N.V. Edwards. Appl. Surf. Sci. 253, 1691 (2006)
A.D. Bass, L. Sanche. Low Temp. Phys. 29, 270 (2003)
A.D. Bass, L. Sanche. Rad. Phys. Chem. 68, 3 (2003)
B.V. Yakshinskiy, R. Wasielewski, E. Loginova, M.N. Hedhili, T.E. Madey. Surf. Sci. 602, 3220 (2008)
А.Х. Аюханов, Э. Турмашев. ЖТФ 47, 6, 1234 (1977)
M.L. Yu. Phys. Rev. B 19, 5995 (1979)
J.L. Hock, J.H. Craig, D. Lichtman. Surf. Sci. 85, 161 (1979)
Z.X. Liu, D. Lichtman. Surf. Sci. 114, 287 (1982)
S. Solovev, D. Kusmierek, T.E. Madey. J. Chem. Phys. 120, 968 (2004)
D.O. Kusmierek. In: Graduate department of physics and astronomy Rutgers State Univ. of New Jersey. New Brunsvick, N.Y. (2005). 121 p
А.А. Радциг, Б.М. Смирнов. Параметры атомов и атомных ионов. Энергоатомиздат, М. (1986). 343 с
Б.М. Смирнов. Отрицательные ионы. Атомиздат, М. (1978). 176 с
D. Menzel, R. Gomer. J. Chem. Phys. 41, 3311 (1964)
R.A. Redhead. Can. J. Phys. 42, 886 (1964)
V.L. Khotek, P.J. Feibelman. Phys. Rev. Lett. 40, 964 (1978)
V.L. Khotek, P.J. Feibelman. Surf. Sci. 90, 28 (1981)
D.P. Woodruff, P.D. Jonson, M.M. Traum, M.M. Farrell, N.V. Smith, B.L. Benlow, Z. Hurich. Surf. Sci. 104, 282 (1981)
T.E. Madey, R. Stockbauer, J.F. van der Veen, D.E. Eastman. Phys. Rev. Lett. 45, 187 (1981)
K. Jaeger, J. Stohr, J. Feldhans, S. Brennan, D. Mensel. Phys. Rev. B 23, 2102 (1981)
E.B. Bertel, R. Stockbauer, R.L. Kurtz, D.E. Ramaker, T.E. Madey. Phys. Rev. B 31, 5580 (1985)
S. Tanaka, K. Mase, S. Nagaoka. Surf. Sci. 572, 43 (2004)
F.M. de Groot, M. Gioni, J.C. Fuggl, C.A. Sawatsky, H. Petersen. Phys. Rev. B 40, 5715 (1989)
E. Zimmermann, R. Steiner, R. Claessen, F. Reinert, S. Huetner, P. Blaha, P. Dufek. J. Phys. C 11, 1657 (1999)
A. Kotani, Y. Toyozawa. J. Phys. Soc. Jpn. 37, 912 (1974)
W. Wurth, C. Schneider, R. Treichler, E. Umbach, D. Menzel. Phys. Rev. B 35, 7741 (1987)
A.M. Lanzillotto, T.E. Madey, R.A. Baragiola. Phys. Rev. Lett. 67, 232 (1991)
M.L. Knotek, J.E. Houston. J. Vac. Sci. Technol. B 1, 899 (1983)
M.L. Knotek, R.H. Stulen, G. Labriel, Y. Rehn, R.A. Rosenberg, C.C. Parks. Surf. Sci. 133, 291 (1983)
M. Petravic. Phys. Rev. B 48, 2627 (1993)
P.H. Dawson, M.L. Den Boer. Surf. Sci. 122, 588 (1982)
W. Lotz. Z. Phys. 232, 107 (1970); 206, 205 (1967)
В.С. Фоменко. Эмиссионные свойства материалов. Наук. думка, Киев (1981). 337 с
V.N. Ageev, O.P. Burmistrova, B.V. Yalshinskij. Surf. Sci. 194, 101 (1988)
V.N. Ageev, Yu.A. Kuznetzov, N.D. Potekhina. Surf. Sci. 367, 113 (1994)
В.Н. Агеев, Ю.А. Кузнецов, Н.Д. Потехина, ФТТ 49, 1514 (2007)
D.R. Lide. Handbook of Chemistry and Physics. 74th ed. CRC, Boca Raton (1991/1992). F 1

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель