Вышедшие номера
Электрофизические свойства эпитаксиальных пленок ниобия, полученных импульсным лазерным испарением
Михайлов Г.М.1, Маликов И.В.1, Петрашов В.Т.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 15 января 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Представлены результаты исследования электросопротивления тонких (8-120 nm) эпитаксиальных пленок ниобия, полученных методом импульсного лазерного испарения на подложке из [1012]-сапфира при температуре подложек 950oC. Отношение сопротивлений при комнатной температуре и температуре 9.5 K было в диапазоне 4--135 и зависело от толщины пленок. Аппроксимация по формулам классического размерного эффекта позволила определить коэффициенты зеркальности и остаточной объемной длины пробега электронов, которые составили соответственно 0.1 и около 1.6 mum, а эффективная длина пробега электронов была в пределах 8--270 nm. Температура сверхпроводящего перехода уменьшалась с толщиной, начиная с 9.19 до 8.57 K при толщине пленки 18 nm, и коррелировала с длиной свободного пробега электронов.
  1. D.B. Mc Whan. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 37, 493 (1985)
  2. A.F. Mayadas, R.B. Laibowitz, J.J. Cuomo. J. Appl. Phys. 43, \it 3, 1287 (1972)
  3. Y. Asada, H. Nose. J. Phys. Soc. Jap. 26, \it 2, 347 (1969)
  4. В.М. Пан, В.Г. Прохоров, Г.Г. Каминский. ФНН 6, \it 8, 968 (1980)
  5. Л.П. Ичкитидзе, Р.А. Баблидзе, В.П. Кузнецов, В.И. Скобелкин. ФНН 12, \it 5, 474 (1986)
  6. Y. Agarashi, M. Kanayama. J. Appl. Phys. 57, \it 3, 849 (1995)
  7. G. Oya, M. Koishi, Y. Sawada. J. Appl. Phys. 60, \it 4, 1440 (1986)
  8. S. Washburn, R.A. Webb. Adv. Phys. 35, \it 4, 375 (1986)
  9. V. Petrashov, V. Antonov, P. Delsing, T. Claeson. Phys. Rev. Lett. 70, 347 (1992)
  10. G.M. Mikhailov, V.T. Petrashov. Phys. Low-Dim. Struct., \it11/12, 135 (1994)
  11. С.В. Гапонов, Б.М. Лускин, Б.А. Нестеров, Н.Н. Салашенко. Письма в ЖЭТФ 12, 573 (1977)
  12. C. Surgers, C. Strink, H. Lohneysen. Thin Solid Films 239, 51 (1994)
  13. D.M. Tricker, W.M. Stobbs. Phil. Mag. A71, \it 5, 1051 (1995)
  14. D.C. Larson. In: Physics of thin films. Advances in Reaseach and Development / Ed. M.H. Francombe, R.W. Hoffman. (1971). V. 6. Ch. 2
  15. Ю.П. Гайдуков, Я. Кадлецова. ЖЭТФ 59, 700 (1970)
  16. Н.Е. Алексеевский, В.И. Нижанковский, К.-Х. Бертель. ФММ 37, \it 1, 63 (1974)
  17. G.M. Webb. Phys. Rev. 181, 3, 1127 (1969)
  18. N.V. Volkenshtein, V.P. Dyakina, V.E. Startsev. Phys. Stat. Sol. (b) 57, 9 (1979)
  19. К.А. Осипов, А.Ф. Фролов, В.П. Дмитриев, Р.Ф. Ивановская, Ю.Н. Лозинский. ФММ 32, \it 4, 878 (1971)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.