Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 1996, выпуск 1 » Статья стр. 255
<<<>>>
Определение структурных параметров градиентного эпитаксиального слоя методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии. I. Начальное приближение решения обратной задачи дифракции
Пунегов В.И.1, Фалеев Н.Н.1
1Сыктывкарский государственный университет им. Питирима Сорокина, Сыктывкар, Россия
Поступила в редакцию: 28 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1995 г.
PDF версия
Приближенные структурные характеристики градиентного эпитаксиального слоя AlGaAs получены с помощью высокоразрешающей двухкристальной рентгеновской дифрактометрии. Два простых, независимых друг от друга метода экспрессной вычислительной рентгенодифракционной диагностики использованы для определения среднего градиента деформации, среднего значения статического фактора Дебая-Валлера и толщины неоднородного слоя. В рамках кинематической теории дифракции исследовано распределение рассеянной интенсивности (когерентной и диффузной) по глубине градиентного слоя при фиксированных значениях угловой отстройки.
  1. Xiong F., Tombrello T.A., Chen H.Z., Morkoc H., Yariv A. J. Vac. Sci. Technol. B6, \it 2 758 (1988)
  2. Красильников В.С., Югова Т.Г., Бублик В.Т., Дроздов Ю.Н., Малькова Н.В., Шепекина Г.В., Хансен К.Р., Резов А.В. Кристаллография 33, \it 6, 1469 (1988)
  3. Bartels W.J., Hornstra J., Lobeek D.J.W. Acta Cryst. A42, 539 (1986)
  4. Lakhani A.A. Materials Lett. 2, 6A\&B, 508 (1984)
  5. Van der Sluis P. J. Phys. D.: Appl. Phys. 26, A188 (1993)
  6. Halliwell M.A.G. Microscopy of Semiconductor Materials. Oxford (1981). Inst. Phys. Conf. Ser. 60. (Inst. Phys. London--Bristol (1981)). P. 271--276
  7. Halliwell M.A.G., Juler J., Norman A.G. Microscopy of Semiconductor Materials. Oxford (1983). Inst. Phys. Conf. Ser. 67. (Inst. Phys. London--Bristol (1983)). P. 365--370
  8. Halliwell M.A.G., Lyons M.H., Hill M.J. J. Cryst. Growth 68, \it 2, 523 (1984)
  9. Елюхин В.А., Конников С.Г., Неменов М.И., Сорокина Л.П., Фалеев Н.Н. ЖТФ 54, \it 10, 2077 (1984)
  10. Macrander A.T. Ann. Rev. Mater. Sci. 18,283 (1988)
  11. Baumbach T., Bruhl H.-G., Rhan H., Pietsch U. J. Appl. Cryst. 21, \it 5, 386 (1988)
  12. Степанов А.А., Хилевая С.В., Эглая А.П. Поверхность, \it 4, 156 (1991)
  13. Степанов А.А. Кристаллография 37, 5, 1122 (1992)
  14. Stepanov A.A. J. Appl. Cryst. 27, 1, 7 (1994)
  15. Kolpakov A.V., Punegov V.I. Solid State Commun. 54, \it 7, 573 (1985)
  16. Kato N. Acta Cryst A36, 5, 763, 770 (1980)
  17. Holy V. Phys. Stat. Sol. (b) 111, 1, 341 (1982)
  18. Бушуев В.А. ФТТ 31, 11, 70 (1989)
  19. Пунегов В.И. Кристаллография 35, 3, 576 (1990)
  20. Пунегов В.И. ЖТФ 61, 12, 71 (1991)
  21. Punegov V.I., Vishnjakov Yu.V. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, A184 (1995)
  22. А.В. Гончарский, А.В. Колпаков, А.А. Степанов. Обратные задачи рентгеновской дифрактометрии. Рига (1992). 181 с
  23. Afanasev A.M., Kovalchuk M.V., Kovev E.K., Kohn V.G. Phys. Stat. Sol. (a) 42, 415 (1977)
  24. Kohn V.G., Kovalchuk M.V., Imamov R.M., Lobanovich E.F. Phys. Stat. Sol. (a) 64, 435 (1981)
  25. Степанов С.А., Кондрашкина Е.А., Чузо А.Н. Поверхность, \it 9, 112 (1988)
  26. Афанасьев А.М., Фанченко С.С. ДАН СССР 287, \it 6, 1395 (1986)
  27. Afanasev A.M., Fanchenko S.S., Maslov A.V. Phys. Stat. Sol. (a) 117, \it 2, 341 (1990)
  28. Завьялова А.А., Иманов Р.М., Ломов А.А., Маслов А.В., Маргушев З.Ч. Кристаллография 32, \it 5, 1235 (1987)
  29. Kyutt R.N., Petrashen P.V., Sorokin L.M. Phys. Stat. Sol. (a) 60, 381 (1980)
  30. Вартаньяц И.А., Ковальчук М.В., Кон В.Г., Николаенко А.М., Харитонов И.Ю. Письма в ЖЭТФ 49, \it 11, 630 (1989)
  31. Дарбинян С.П., Петрашень П.В., Чуховский Ф.Н. Кристаллография 37, \it 4, 854 (1992)
  32. Подоров С.Г., Пунегов В.И., Кусиков В.А. ФТТ 36, \it 3, 827 (1994)
  33. Pavlov K.M., Punegov V.I., Faleev N.N. X-ray topography and high resolution diffraction. 2nd Europ. Symposium. Berlin (5--7 September 1994). P. 163; Павлов К.М., Пунегов В.И., Фалеев Н.Н. ЖЭТФ 107, \it 6, 1967 (1995)
  34. Колпаков А.В., Пунегов В.И. Вестн. МГУ. Сер. 3, Физика, астрономия 27, \it 5, 85 (1986)
  35. Колпаков А.В., Пунегов В.И. Поверхность, 3, 82 (1988)
  36. Шустер А. Введение в теоретическую оптику. Л.-М. (1985). 376 с
  37. Пунегов В.И. Деп. в ВИНИТИ, рег. N 8903-B 87. Сыктывкар (1987). 29 с
  38. Кон В.Г., Прилепский М.В., Суходрева И.М. Поверхность, \it 11, 122 (1984)
  39. Бушуев В.А., Хапачев Ю.П., Лидер В.В. Письма в ЖТФ 19, \it 23, 74 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme