Издателям
Вышедшие номера
Структура и фазовый состав пленок SrTiO3, полученных вч-магнетронным распылением
Балашова Е.В.1, Гольцман Б.М.1, Зайцева Н.В.1, Мосина Г.Н.1, Сорокин Л.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

Структура и фазовый состав пленок SrTiO3 (STO), полученных ВЧ-магнетронным распылением на подложке из монокристаллического Si (111), изучались методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Установлена зависимость изменения (релаксации) постоянной решетки пленок от степени их текстурированности. Обнаружены примесные фазы в виде включений в кристаллические зерна основного материала и определен их состав. Исследовано влияние концентрации примесных фаз на величину диэлектрической проницаемости пленок.
  1. Томашпольский Ю.А. Пленочные сегнетоэлектрики. М. (1982). 191 с
  2. Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Физика сегнетоэлектрических пленок. Ростов-на-Дону (1972). 190 с
  3. Блистанов А.А., Бондаренко В.С., Переломова Н.В., Стрижевская Ф.Н., Чкалова В.В., Шаскольская М.П. Акустические кристаллы. М. (1982). 632 c
  4. Argunova T.S., Goltsman B.M., Efimova T.P., Zhukova T.B., Mosina G.N., Sorokin L.M., Shaplygina T.A., Scheglov M.P. Ferroelectrics \bf 144, \it 2, 213 (1993)
  5. Wang P.C., Chen Z.L., He X.M. Ferroelectrics Lett. \bf 4, 47 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.