Локальная диагностика сверхрешеток GaAs/AlAs с использованием оптического детектирования магнитного резонанса и эффекта антикроссинга энергетических уровней
Баранов П.Г.1, Романов Н.Г.1, Машков И.В.1, Хитрова,-=SUP=-*-=/SUP=- Г.Б.1, Гиббс,-=SUP=-*-=/SUP=- Х.М.1, Лунгнес -=SUP=-*-=/SUP=- О.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 февраля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.
Одной из основных проблем в технологии сверхрешеток и структур с квантовыми ямами является проведение локальной диагностики параметров этих структур: периода, толщины слоев, а также локальной характеристики интерфейса. Для локальной диагностики сверхрешеток GaAs/AlAs впервые используются методы оптического детектирования ЭПР и эффекты антикроссинга энергетических уровней экситонов. Предложенные методы являются фактически спектроскопией на микровольтовом и субмикровольтовом уровнях и чрезвычайно чувствительны к изменениям параметров сверхрешеток. Приводятся результаты локальной диагностики сверхрешеток, изготовленных методом молекулярной пучковой эпитаксии на неподвижной подложке с прерыванием потока галлия и алюминия в процессе роста каждого слоя.
- van Kesteren H.W., Cosman E.C., van der Pool W.A.J.A., Foxon C.T. Phys. Rev. \bf B41, 5283 (1990)
- Trombetta J.M., Kennedy T.A., Gammon D., Shanabrook B.V., Prokes S.M. Material Science Forum \bf 83--87, 1361 (1991)
- Baranov P.G., Lavallard P., Planel R., Romanov N.G. Superlattices and Microstructures \bf 12, 327 (1992)
- Baranov P.G., Mashkov I.V., Romanov N.G., Lavallard P. and Planel R. Solid State Commun \bf 87, 649 (1993)
- Романов Н.Г., Машков И.В., Баранов П.Г., Лаваллар Ф., Планель Р. Письма в ЖЭТФ 1993, т. 57, с. 788
- Romanov N.G., Mashkov I.V., Baranov P.G., Lavallard P., Planel R. Solid. State Electron. \bf 37, 911 (1994)
- Baranov P.G., Romanov N.G. Proc. of the 22nd Inter. Conf. on the Physics of Semiconductors. Vancouver. Canada (1994)
- Ивченко Е.Л., Каминский А.Ю., Алейнер И.Л. ЖЭТФ 1993, т. 104, с. 3401
- Баранов П.Г., Машков И.В., Романов Н.Г., Гордон К., Лаваллар Ф., Планель Р. Письма в ЖЭТФ 1994, т. 60, с. 429
- Koshiba S., Nanao S., Tsuda O., Watanabe Y., Sakurai Y., Sakaki H., Kawata H., Ando M. J. Crystal Growth \bf 95, 51 (1989)
- Baranov P.G., Romanov N.G. Appl. Magn. Res. 2, 361 (1992)
- Foxon C.T. J. Crystal Growth 95, 11 (1989)
- Noda T., Tanaka M., Sakaki H. Appl. Phys. Lett. \bf 67, 1657 (1990)
- Warwick C.A., Kopf R.F. Appl. Phys. Lett. 60, 386 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.