Электрический пробой пленок оксида лютеция
Рожков В.А.1, Петров А.И.1, Гончаров В.П.1
1Самарский государственный университет
Поступила в редакцию: 20 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.
Представлены результаты исследования электрического пробоя пленок оксида лютеция в кремниевых МДП-структурах при использовании линейно нарастающего напряжения. Определены гистограммы пробоя и изучены зависимости пробивной напряженности диэлектрических пленок от скорости нарастания пилообразного напряжения на структуре, толщины диэлектрика и температуры. Установлено, что при скоростях роста напряжения Kv=10/105 V/s пробивная напряженность линейно увеличивается с возрастанием ln Kv, а при Kv<=105 V/s наблюдается насыщение величины пробивной напряженности. Показано, что в области малых значений Kv проявляется более сильная температурная зависимость величины пробивной напряженности. Результаты интерпретируются с точки зрения электронного механизма пробоя, развитие которого при Kv<105 V/s состоит из подготовительной стадии, связанной с накоплением в диэлектрике критического заряда, после чего наступает быстрая фаза собственного пробоя диэлектрика.
- Вдовин О.С., Кирьяшкина З.И., Котелков В.Н. и др. Пленки оксидов редкоземельных элементов в МДМ- и МДП-структурах. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1983. 159 с
- Рожков В.А., Вдовин О.С., Свердлова А.М. и др. Микроэлектроника. 1976. Т. 5. N 1. С. 28--31
- Рожков В.А., Вдовин О.С., Котелков В.Н. и др. Микроэлектроника. 1973. Т. 2. N 3. С. 267--270
- Крикоров В.С., Красов В.Г., Маркарянц А.Е. Электронная техника. Сер. 12. 1971. Вып. 1(12). С. 79--82
- Sing P., Baishya B. Thin Solid Films. 1987. V. 147. N 1. P. 25--32
- Рожков В.А., Петров А.И. Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. N 1. С. 49--52
- Ильин А.Г. Канд. дис. Иркутск: Пед. ин-т, 1976. 161 с
- Тиман Б.Л. ФТП. 1973. Т. 7. N 2. С. 225--229
- Owen A.E., Robertson J.M., Main C. J. Non-Cryst. Solids. 1979. V. 32. N 1. P.29--52
- Klein N. Thin Solid Films. 1978. V. 50. N 3. P. 223--232
- Жуков С.В., Закревский В.А., Кабин С.П., Сударь Н.Т. Изв. вузов. Физика. 1988. N 4 (316). С. 86--90
- Петров А.И., Рожков В.А. РЭ. 1993. Т. 38. N 2. С. 296--301
- Harari E. J. Appl. Phys. 1978. V. 49. N 4. P. 2478--2489
- Силаев Е.А., Голованова Г.Ф. Поверхность. 1982. N 2. С. 109--114
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук