Вышедшие номера
Структура и свойства тонких пленок PbZrTiO 3, полученных золь-гель методом
Ярмаркин В.К.1, Зайцева Н.В.1, Штельмах С.В.1, Моторный А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 мая 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.

На подложках < 111>Si с подслоем платины получены тонкие пленки PbZrTiO3 с помощью золь-гель метода. Показано, что при изменении условий температурной обработки пленок на этапе сушки геля можно получить как неориентированные, так и ориентированные (с осевой текстурой типа (100) ) пленки. Образование текстуры связывается с искусственной эпитаксией под действием механических напряжений. Проведены измерения петель диэлектрического гистерезиса, частотных зависимостей емкости, вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик пленок при использовании различных металлов в качестве материала верхнего электрода. Обсуждаются причины систематического смещения петель диэлектрического гистерезиса и механизм токопрохождения через структуры металл-сегнетоэлектрическая тонкая пленка-металл.
  1. Scott J.F., Paz De Araujo C.A. Science. 1989. V. 246. N 15 Dec. P. 1400--1405
  2. Paz De Araujo C.A., McMillan L.D., Melnick B.M., Cuchiaro J.D., Scott J.F. Ferroelectrics. 1990. V. 104. Pt. 1. P. 241--256
  3. Ye C., Tamagawa T., Polla D.L. 6th Int. Conf. of Solid State Sensors and Actuators. San Fransisco. CA. 26 June 1991
  4. Hsuen C.C., Tamagawa T., Ye C., Helgeson A., Polla D.L. Integr. Ferroelectrics. 1993. V. 3. N 1. P. 21--28
  5. Scott J.F., Paz De Araujo C.A., Taylor G.W. Ferroelectrics. 1991. V. 116. P. 215--220
  6. Kawaguchi T., Adashi H., Setsune R., Yamasaki O., Wasa K. Appl. Opt. 1984. V. 23. N 13. P. 2187--2191
  7. Xu Y., McKenzie J.D. Integr. Ferroelectrics. 1992. V. 1. N 1. P. 17--42
  8. Swartz S.L., Wood U.E. Cond. Matter News. 1992. V. 1. N 5. P. 4--11
  9. Shirane G., Suzuki K., Takeda A. J. Phys. Soc. Jap. 1952. V. 7. N 1. P. 5--11
  10. Yi G., Wu Z., Sayer M. J. Appl. Phys. 1988. V. 64. N 5. P. 2717--2724
  11. Vorotilov K.A., Yanovskaja M.I., Dorokhova O.A. Integr. Ferroelectrics. 1993. V. 3. N 1. P. 33--49
  12. Budd K.D., Dey S.K., Payne D.A. Proc. Brit. Ceram. Soc. 1985. V. 36. P. 107--121
  13. Bityrin Yu A., Gaponov S.V., Gudkov A.A., Mironov V.I. J. Cryst. Growth. 1985. V. 73. N 3. P. 551--557
  14. Croll S.G. J. Appl. Polym. Sci. 1979. V. 23. P. 847--858
  15. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. Ч. 1. 442 с
  16. Aoki K., Fukuda Y., Nishimura A. Jpn. J. Appl. Phys. 1993. V. 32. N 9B. P. 4147--4149
  17. Vasiliu F., Lucuta P.Gr., Constantinescu F. Phys. Stat. Sol. (a). 1983. V. 80. N 2. P. 637--642
  18. Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Физика сегнетоэлектрических пленок. Ростов-на-Дону: Изд-во РГУ, 1979. 190 с
  19. Lomasov V.N., Shustrov B.A., Yarmarkin V.K. ISAF'90, Univ. of Illinois at Urbana-Champaign. IL. 6--8 June 1990. P.P. 411--414
  20. Tohge N., Takahashi S., Minami T. J. Amer. Ceram. Soc. 1991. V. 74. N 1. P. 67--71
  21. Subbarao E.C., McQuarry M.C., Buessem W.R. J. Appl. Phys. 1957. V. 28. N 10. P. 1194--1200
  22. Amanuma K., Mori T., Hase T., Sakuma T. Jpn. J. Appl. Phys. 1993. V. 32. Pt. 1. N 9. B. P. 4150--4153
  23. Hu H., Krupanidhi S.B. J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 5. P. 3373--3382
  24. Dana S.S., Etzold K.F., Clabes J. J. Appl. Phys. 1991. V. 69. N 8. P. 3373--3382
  25. Tredgold R.H. Space Charge Conduction in Solids. Amsterdam: Elsevier, 1966
  26. Chinoveth A.G. Phys. Rev. 1956. V. 102. N 3. P. 705--714
  27. Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1981. 655 с
  28. Рабинович В.А., Хавин З.Я. Краткий химический справочник / Под ред. А.А. Потехина, А.И. Ефимова. Л.: Химия, 1991. 412 с
  29. Waser R., Bajatu T., Hardtl K.-H. J. Amer. Ceram. Soc. 1990. V. 73. N 6. P. 1645--1673
  30. Чеботин В.Н., Перфильев М.В. Электрохимия твердых электролитов. М.: Химия, 1978. 312 с
  31. Xu Y., Chen C., McKenzie J.D. J. Appl. Phys. 1990. V. 67. N 6. P. 2985--2991
  32. Mihara T., Watanabe H., Yoshimori H., Paz De Araujo C.A., Melnick B., McMillan L.D. Integr. Ferroelectrics. 1992. V. 1. N 2--4. P. 269--291
  33. Scott J.F., Melnick B.M., McMillan L.D., Paz De Araujo C.A. Integr. Ferroelectrics. 1993. V. 3. N 3. P. 225--243

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.