Издателям
Вышедшие номера
Взаимосвязь структурно-чувствительных свойств с генетическими особенностями монокристаллов кремния
Витман Р.Ф.1, Гусева Н.Б.1, Лебедев А.А.1, Ситниковa А.А.1, Фалькевич Э.С.1, Червоный Н.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 сентября 1993 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1994 г.

Исследовано влияние генетических особенностей (ростовые микродефекты, концентрация неконтролируемых примесей) на развитие структурно-чувствительных свойств монокристаллов кремния. Применялись как дифракционные методы (электронная микроскопия и рентгеновская топография), так и спектроскопические (ИК-поглощение и DLTS). Установлено, что наличие в высокочистых зонных монокристаллах определенного типа ростовых микродефектов приводит к генерации ими под нагрузкой дислокационных структур различного характера. Показано также, что монокристаллы кремния, выращенные разными способами (по методу Чохральского и бестигельной зонной плавки) отличаются по термостабильности. Предварительная оценка соотношения концентраций кислорода и углерода в кристалле позволяет предсказать кинетику дефектообразования при термических обработках. Рассмотрены отдельные моменты структурно-чувствительной диффузии примесей. На примере никеля и марганца показано влияние ''фоновых'' примесей на поведение кремния при диффузионном легировании.
  • Неймарк К.Н., Шейхет Э.Г., Литвинова Н.Ю., Фалькевич Э.С. Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1979. Т. 15. N 2. С. 184--187
  • Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Таланин И.Е., Малышев К.Л., Шейхет Э.Г., Фалькевич Э.С. ФТТ. 1986. Т. 28. N 6. С. 1829--1833
  • Гусева Н.Б., Шейхет Э.Г., Шпейзман В.В., Шульпина И.Л. ФТТ. 1986. Т. 28. N 10. С. 3192
  • Воронков В.Б., Воронкова Г.И., Зубов В.В., Калинушкин В.П., Крынецкий В.В., Мурина Т.М., Прохорова А.М. ФТТ. 1977. Т. 19. N 6. С. 7--34
  • Витман Р.Ф., Гусева Н.Б., Лебедев А.А., Ситникова А.А., Утамурадова Ш.Б. ЖТФ. 1988. Т. 58. N 11. С. 2272--2274
  • Абдурахманов К.П., Витман Р.Ф., Далиев Х.С., Лебедев А.А., Утармурадова Ш.Б. ФТП. 1985. Т. 19. N 6. С. 1158--1159
  • Витман Р.Ф., Гусева Н.Б., Лебедев А.А., Таптыгов Э.С. ФТП. 1989. Т. 23. N 5. С. 919--921
  • Гусева Н.Б., Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Трапезникова И.Н., Тучкевич В.М., Шульпина И.Л. ДАН СССР. 1983. Т. 268. N 6. С. 1385--1388
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.