Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Взаимосвязь структурно-чувствительных свойств с генетическими особенностями монокристаллов кремния

Витман Р.Ф.¹, Гусева Н.Б.¹, Лебедев А.А.¹, Ситниковa А.А.¹, Фалькевич Э.С.¹, Червоный Н.Ф.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 22 сентября 1993 г.

Выставление онлайн: 17 февраля 1994 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследовано влияние генетических особенностей (ростовые микродефекты, концентрация неконтролируемых примесей) на развитие структурно-чувствительных свойств монокристаллов кремния. Применялись как дифракционные методы (электронная микроскопия и рентгеновская топография), так и спектроскопические (ИК-поглощение и DLTS). Установлено, что наличие в высокочистых зонных монокристаллах определенного типа ростовых микродефектов приводит к генерации ими под нагрузкой дислокационных структур различного характера. Показано также, что монокристаллы кремния, выращенные разными способами (по методу Чохральского и бестигельной зонной плавки) отличаются по термостабильности. Предварительная оценка соотношения концентраций кислорода и углерода в кристалле позволяет предсказать кинетику дефектообразования при термических обработках. Рассмотрены отдельные моменты структурно-чувствительной диффузии примесей. На примере никеля и марганца показано влияние ''фоновых'' примесей на поведение кремния при диффузионном легировании.

Неймарк К.Н., Шейхет Э.Г., Литвинова Н.Ю., Фалькевич Э.С. Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1979. Т. 15. N 2. С. 184--187
Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Таланин И.Е., Малышев К.Л., Шейхет Э.Г., Фалькевич Э.С. ФТТ. 1986. Т. 28. N 6. С. 1829--1833
Гусева Н.Б., Шейхет Э.Г., Шпейзман В.В., Шульпина И.Л. ФТТ. 1986. Т. 28. N 10. С. 3192
Воронков В.Б., Воронкова Г.И., Зубов В.В., Калинушкин В.П., Крынецкий В.В., Мурина Т.М., Прохорова А.М. ФТТ. 1977. Т. 19. N 6. С. 7--34
Витман Р.Ф., Гусева Н.Б., Лебедев А.А., Ситникова А.А., Утамурадова Ш.Б. ЖТФ. 1988. Т. 58. N 11. С. 2272--2274
Абдурахманов К.П., Витман Р.Ф., Далиев Х.С., Лебедев А.А., Утармурадова Ш.Б. ФТП. 1985. Т. 19. N 6. С. 1158--1159
Витман Р.Ф., Гусева Н.Б., Лебедев А.А., Таптыгов Э.С. ФТП. 1989. Т. 23. N 5. С. 919--921
Гусева Н.Б., Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Трапезникова И.Н., Тучкевич В.М., Шульпина И.Л. ДАН СССР. 1983. Т. 268. N 6. С. 1385--1388

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель