Вышедшие номера
Визуализация пассивированной в водном растворе Na 2S поверхности скола арсенида галлия с помощью СТМ в атмосферных условиях
Анкудинов А.В.1, Лантратов В.М.1, Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 сентября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.

Представлены результаты СТМ-исследований поверхностей n-GaAs (110), пассивированных в водном растворе Na2S. Показано, что с помощью Na2S пассивации можно подготовить поверхность скола с величиной R app=< 0.1 нм. На СТМ-изображении таким образом подготовленной поверхности ясно видна развитая структура атомных ступеней. При помощи Na2S пассивации были получены устойчивые к окислению поверхности, что дает возможность использовать их для создания с помощью СТМ искусственного нанорельефа на поверхности. Было также показано, что длительная обработка наряду с пассивацией приводит одновременно и к подтравливанию поверхности. При этом на поверхности развивается структура бугорков травления, ориентированных вдоль направления [110] плоскости скола.