Вышедшие номера
Давление силы Казимира на слой диэлектрика в структурах металл-диэлектрик-полупроводник
Климчицкая Г.Л.1, Федорцов А.Б.1, Чуркин Ю.В.1, Юрова В.А.1
1Северо-Западный государственный заочный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: physics@nwpi.ru
Поступила в редакцию: 28 февраля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2011 г.

Проведены расчеты величины давления, создаваемого силой Казимира, на слой диэлектрика в структурах металл-диэлектрик-полупроводник, близких по параметрам к используемым в производстве полупроводниковых приборов. Установлено, что с уменьшением толщины диэлектрика в диапазоне от 80 до 40 nm давление силы Казимира возрастает на порядок и достигает десятков паскалей. Толщина слоя металла и наличие поверхностного слоя с высокой концентрацией носителей заряда в полупроводнике слабо влиют на расчетные значения казимировского давления. Работа поддержана грантами N 16.740, 11.0144. П-184, П-898, 4232 АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2011 гг.)" и ФЦП "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России (на 2009-2012 гг.)".
  1. E. Buks, M.L. Roukes. Europhys. Lett. 54, 2, 220 (2001)
  2. E. Buks, M.L. Roukes. Phys. Rev. B 63, 033/402 (2001)
  3. H.B. Chan, V.A. Aksyuk, R.N. Kleiman, D.I. Bishop, F. Capasso. Science 291, 1941 (2001)
  4. M. Borgad, G.L. Klimchitskaya, U. Mohideen, V.M. Mostepanenko. Advances in the Casimir effect Oxford University Press. Oxford (2009). 750 p
  5. В.П. Дьконов. Intel. Новейшие информационные технологии. Достижения и люди. СОЛОН-Пресс. М. (2004). 416 с
  6. В.П. Дьконов, А.А. Максимчук. Энциклопедия устройств на полевых транзисторах. СОЛОН-Р, М. (2002). 512 с
  7. Д.Г. Громов, А.И. Мочалов. Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие. БИНОМ. М. (2009). 277 с
  8. D. Ferry, L. Akers, E. Greeneich. Ultra large scale integrated microelectronics. Prentice Hall Inc. N.J., USA (1991). 304 p
  9. И.Е. Дзялошинский, Е.М. Лифшиц, Л.П. Питаевский. УФН 73, 381 (1961)
  10. F. Zhou, L. Spruch. Phys. Rev. A 52, 297 (1995)
  11. G.L. Klimchitskaya, U. Mohideen, V.M. Mostepanenko. Phys. Rev. A 61, 062 107 (2000)
  12. M.S. Tomas. Phys. Rev. A 66, 052 103 (2002)
  13. C. Raabe, L. Knoll. Phys. Rev. A 68, 033 810 (2003)
  14. A. Milling, P. Mulvaney, I. Larson. Langmuir 13, 3896 (1997)
  15. S.-W. Lee, W.M. Sigmund. J. Colloid Interface Sci. 243, 365 (2001)
  16. I.N. Munday, F. Capasso, V.A. Parsegian. Nature 457, 170 (2009)
  17. A. Lambrecht, I. Pirozhenko, L. Duraffourg. Ph. Andreucci. Europhys. Lett. 77, 44 006 (2007)
  18. Ю.С. Бараш. Силы Ван-дер-Ваальса. Наука, М. (1988). 344 с
  19. В.М. Мостепаненко, Н.Н. Трунов. Эффект Казимира и его приложения. Энергоатомиздат, М. (1990). 432 с
  20. V.A. Parsegian. Van der Waals Forces. Handbook for biologists, chemists, engineers and physicists. Cambridge University Press. Cambridge (2005). 394 p
  21. M.A. Ordal, R.J. Bell, R.W. Alexander, Jr., L.L. Long, M.R. Querry. Appl. Opt. 24, 4493 (1985)
  22. М.М. Бредов, В.В. Румянцев, И.Н. Топтыгин. Классическая электродинамика. Наука, М. (1985). 400 с
  23. R.S. Decca, D. Lopez, E. Fischbach, G.L. Klimchitskaya, D.E. Krause, V.M. Mostepanenko. Ann. Phys. (N.Y.) 318, 37 (2005)
  24. R.S. Decca, D. Lopez, E. Fischbach, G.L. Klimchitskaya, D.E. Krause, V.M. Mostepanenko. Eur. Phys. J. C 51, 963 (2007)
  25. G.L. Klimchitskaya, U. Mohideen, V.M. Mostepanenko. Rev. Mod. Phys. 81, 1827 (2009)
  26. Handbook of optical constants of solids / Ed. E.D. Palik. Academic Press, N.Y. (1991). V. 2. 571 p
  27. L. Bergstrom. Adv. Colloid Interface Sci. 70, 125 (1997)
  28. F. Chen, U. Mohideen, G.L. Klimchitsckaya, V.M. Mostepanenko. Phys. Rev. A 72, 020 101 (2005)
  29. F. Chen, G.L. Klimchitskaya, V.M. Mostepanenko, U. Mohideen. Phys. Rev. Lett. 97, 170 402 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.