Вышедшие номера
Изучение распыления фосфида, арсенида и антимонида галлия при бомбардировке ионами Ar+ с энергией 2--8 кэВ
Берт Н.А.1, Сошников И.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 апреля 1993 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1993 г.

Проведены экспериментальные исследования распыления фосфида, арсенида и антимонида ионами Ar+ с энергией 2--8 кэВ. Путем сравнительного анализа экспериментальных и расчетных энергетических зависимостей коэффициента распыления определены приведенные энергии поверхностной связи изучаемых материалов. Показано, что угловые зависимости коэффициента распыления в области углов бомбардировки theta<thetamax хорошо описываются моделью Ямамура.
  1. Зигмунд П. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. С. 89
  2. Singer I.L., Murday J.S., Cooper L.R. Surf. Sci. 1981. V. 108. N 1. P. 7--24
  3. Valeri S. et al. Vuoto: Sci. and Technol. 1990. V. 20. N 1. P. 77--79
  4. Holloway P.H. Appl. Surf. Sci. 1986. V. 26. N 4. P. 550--560
  5. Kang H.J. et al. J. Vac. Sci. Technol. A. 1989. V. 7. N 6. P. 3251--55
  6. Liau Z.L. et al. J. Appl. Phys. 1978. V. 49. P. 5295--5305
  7. Kawabe M., Konzaki N., Masuda K. et al. Appl. Opt. 1978. V. 17. N 16. P. 2556--2561
  8. Chen W.-X., Walpita L.M., Sun C.C., Chang W.S.C. J. Vac. Sci. Technol. B. 1986. V. 4. N 3. P. 701--705
  9. Farren J., Scaife W.J. Talanta. 1986. V. 15. N 11. P. 1217-- 1226
  10. Bhattacharya S.R., Ghose D., Basu D. Indian J. Pure and Appl. Phys. 1987. V. 25. N 9. P. 328--330
  11. Bhattacharya S.R., Ghose D., Basu D. Nucl. Instrum. Meth. in Phys. Res. B. 1990. V. 47. P. 253--256
  12. Берт Н.А., Погребицкий К.Ю., Сошников И.П., Юрьев Ю.Н. ЖТФ. 1992. Т. 62. N 4. С. 162--170
  13. Wolski et al. Surf. Sci. 1964. V. 1. P. 110--118
  14. Carter G. et al. Proc. Roy. Soc. London A. 1986. V. 407. N 1833. P. 405--433
  15. Пранявичус Л.Й. и др. Литовский физ. сб. 1987. Т. 26. N 2. С. 190--195
  16. Ланг Д. Точечные дефекты в твердых телах. М.: Мир, 1978
  17. Sigmund P. Phys. Rev. 1969. V. 184. N 2. P. 383--416
  18. Haff P.K., Switkowski Z.E. Appl. Phys. Lett. 1976. V. 29. P. 549--551
  19. Patterson W.L., Shirn G.A. J. Vac. Sci. Technol. 1967. V. 4. P. 343--355
  20. Konaya K. et al. Jpn. Appl. Phys. 1973. V. 12. N 9. P. 1297--1306
  21. Biersack J.P. Nucl. Instrum. Meth. in Phys. Res. B. 1987. V. 27. P. 21--36
  22. Юдин В.В. Электронная техника. Сер. "Полупроводниковые приборы". 1984. В. 6(172). С. 3--16
  23. Matsunami, Yamamura Y. et al. Radiat. Eff. Lett. 1982. V. 68. N 3. P. 83--87
  24. Термодинамические константы веществ/ Под ред. В.П.Глушко. М.: Наука, 1971. В. 5
  25. Андреев В.М. и др. Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов. М.: Сов. радио, 1975
  26. Yamamura Y. Radiat. Eff. 1984. V. 80. N 1--2. P. 57--72

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.