Вышедшие номера
Влияние хемосорбированных молекул кислорода и монооксида углерода на свойства нанопленочных структур Yb-Si(111)
Кузьмин М.В.1, Митцев М.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: m.mittsev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.

Изучено влияние хемосорбированных молекул O2 и CO на свойства пленочных структур вида пленка иттербия нанометровой толщины-кремниевая подложка Si(111) и, в частности, на реакции между металлом и кремнием. Показано, что хемосорбция указанных молекул на структурах Yb-Sb(111) сопровождается частичным или полным прекращением роста силицида иттербия и что влияние адсорбатов на реакции на границе раздела металл-кремний зависит от толщины нанослоя иттербия. Так, при толщине пленок 8 монослоев и больших дозах кислорода (360 Ленгмюр) хемосорбированные молекулы полностью блокируют процесс силицидообразования. При больших толщинах пленок иттербия (16 монослоев) и больших дозах кислорода (360 Ленгмюр) или монооксида углерода (480 Ленгмюр) рост силицида происходит, но только, по-видимому, в слоях нанопленок иттербия, ближайших к подложке. Влияние адсорбированных молекул на процесс силицидообразования ослабевает также при уменьшении количества этих молекул на поверхности, т. е. при уменьшении их дозы. Работа выполнена по Программе фундаментальных исследований Президиума РАН N 21 "Основы фундаментальных исследований нанотехнологий и наноматериалов" (раздел 2: наноматериалы).