Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Электрические свойства пластически деформированного кремния при взаимодействии с примесью железа

Феклисова О.В.¹, Якимов Е.Б.¹

¹Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Moscow oblast, Russia

Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Moscow oblast, Russia

Email: yakimov@iptm.ru

Поступила в редакцию: 3 сентября 2010 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методами растровой электронной микроскопии и нестационарной спектроскопии глубоких уровней исследовано изменение рекомбинационных свойств пластически деформированного кремния в результате взаимодействия с примесью железа, введенной посредством диффузии при 1000^oC. Обнаружено увеличение рекомбинационной активности дислокаций и плоскостей скольжения за дислокациями вследствие ускоренного образования на этих дефектах преципитатов железа. Из измерений наведенного электронным пучком тока проведены оценки концентрации и рассчитаны размеры образующихся преципитатов, которые достигали нескольких сотен нанометров. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 10-02-00300-а).

K. Graff. Metal impurities in silicon-device fabrication. Springer, Berlin (1995). 216 p
A.A. Istratov, H. Hieslmair, E.R. Weber. Appl. Phys. A 69, 13 (1999)
B.L. Sopori. Mater. Sci. Forum 258--263, 527 (1997)
J. Bailey, E.R. Weber. Phys. Status Solidi A 137, 515 (1993)
H. Feichtinger, A. Gschwandtner, J. Waltl. Phys. Status Solidi A 53, K71 (1979)
В.Б. Воронков, А.А. Лебедев, А.Т. Мамадалимов, Б.М. Урунбаев, Т.А. Усманов. ФТП 14, 2050 (1980)
H. Lemke. Phys. Status Solidi A 64, 215 (1981)
K. Wunstel, P. Wagner. Appl. Phys. A 27, 207 (1982)
S.D. Brotherton, P. Bradley, A. Gill. J. Appl. Phys. 57, 1941 (1985)
O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin, B. Pichand. J. Phys.: Cond. Matter 16, S201 (2004)
M. Acciarri, S. Binetti, O.V. Feklisova, E.A. Steinman, E.B. Yakimov. Solid State Phenom. 95--96, 453 (2004)
O.V. Feklisova, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C 4, 8, 3105 (2007)
C. Donolato. Semicond. Sci. Technol. 7, 37 (1992)
E.R. Weber. Appl. Phys. A 30, 1 (1983)
I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A 60, 341 (1980)
K. Schmalz, F.G. Kirscht, S. Niese, H. Richter. M. Kittler, W. Seifert, I. Babanskaya, H. Klose, K. Tittelbach-Helmrich, J. Schoneich. Phys. Status Solidi A 100, 69 (1987)
M. Hourai, K. Murakami, T. Shigematsu, N. Fujino, T. Shiraiwa. Jpn. J. Appl. Phys. 28, 2413 (1989)
O.V. Feklisova, B. Pichaud, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A 202, 5, 896 (2005)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель