Получение прямых и инвертированных опаловых матриц из алмаза методом осаждения из газовой фазы
Ральченко В.Г.1, Совык Д.Н.1, Большаков А.П.1, Хомич А.А.1, Власов И.И.1, Курдюков Д.А.2, Голубев В.Г.2, Захидов А.А.3
1Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт нанотехнологий, Техасский университет, Даллас, США
Email: sovyk@nsc.gpi.ru
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.
Осаждением из СВЧ-плазмы в смесях метан-водород на основе пористой SiO2 опаловой матрицы и ее кремниевой реплики получены образцы алмаза с трехмерной структурой инвертированного и прямого опалов соответственно с периодом 250-530 nm. Достигнута глубина заполнения пор Si темплата алмазом до 80 слоев опаловых шаров. Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант N 0-03-00943) и НОЦ ФАНИ (ГК 02.740.11.0108).
- A.A. Zakhidov, R.H. Baughman, Z. Iqbal, C. Cui, I. Khayrullin, S.O. Dantas, J. Marti, V.G. Ralchenko. Science 282, 897 (1998)
- V.G. Golubev, J.L. Hutchison, V.A. Kosobukin, D.A. Kurdyukov, A.V. Medvedev, A.B. Pevtsov, J. Sloan, L.M. Sorokin. J. Non-Cryst. Solids 299, 1062 (2002)
- F. Marlow, Muldarisnur, P. Sharifi, R. Brinkmann, C. Mendive. Angew. Chem. Int. Ed. 48, 6212 (2009)
- J.C. Lytle, A. Stein. Ann. Rev. Nanoresearch 1, 1 (2006)
- С.И. Ивичева, Ю.Ф. Каргин, Е.Ю. Буслаева, Г.Ю. Юрков. Неорган. материалы 44, 918 (2008)
- M.E. Kozlov, N.S. Murthy, I. Udod, I.I. Khayrullin, R.H. Baughman, A.A. Zakhidov. Appl. Phys. A 86, 421 (2007)
- C. Lopez. Adv. Mater. 15, 1679 (2003)
- K.T. Lee, J.C. Lytle, N.S. Ergang, S.M. Oh, A. Stein. Adv. Funct. Mater. 15, 547 (2005)
- A. Lan, Z. Iqbal, A. Aitouchen, M. Libera, H. Grebel. Appl. Phys. Lett. 81, 433 (2002)
- В.Г. Ральченко, А.В. Савельев, А.Ф. Попович, И.И. Власов, С.В.Воронина, Е.Е. Ашкинази. Микроэлектроника 35, 243 (2006)
- I.I. Vlasov, A.S. Barnard, V.G. Ralchenko, O.I. Lebedev, M.V. Kanzyuba, A.V. Saveliev, V.I. Konov, E. Goovaerts. Adv. Mater. 21, 808 (2009)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.