Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат--дислокационные петли в кремнии
1Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН, Москва, Россия 
2Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва, Россия
2Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва, Россия
Email: goldst@ipmnet.ru
Поступила в редакцию: 24 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.
Рассмотрена модель когерентного и некогерентного кислородосодержащего преципитата, образующегося в анизотропном кристалле кремния в результате распада пересыщенного твердого раствора кислорода. На основе классического подхода Эшелби определены напряжения, действующие внутри и вне преципитата. Предложен критерий зарождения дислокации несоответствия и начала движения полной дислокационной петли внедрения, лежащей в плоскости преципитата. В рамках предложенных модели преципитата и критериев получены зависимости радиуса преципитата, при котором происходит образование дислокации несоответствия и начала движения полной дислокационной петли внедрения, при приложении к образцу внешней нагрузки. Проведено сопоставление полученных результатов с имеющимися экспериментальными данными. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (проект N 08-02-01080-a).
- R. Falster. Semiconductor fabtech. 13th ed. ICG Publ., London (2001). P. 187
- В.Т. Бублик, С.Ю. Мацнев, К.Д. Щербачев, М.В. Меженный, М.Г. Мильвидский, В.Я. Резник. ФТТ 45, 1825 (2003)
- М.В. Меженный, М.Г. Мильвидский, В.Ф. Павлов, В.Я. Резник. ФТТ 44, 1230 (2002)
- A. Bourret, J. Thibault-Desseaux, D.N. Seidman. J. Appl. Phys. 55, 825 (1984)
- T.Y. Tan, W.K. Tice. Phil. Mag. 34, 615 (1976)
- А.Л. Колесникова, А.Е. Романов, В.В. Чалдышев. ФТТ 49, 633 (2007)
- Дж. Эшелби. В кн.: Континуальная теория дислокаций. ИЛ, М. (1963). С. 103
- T. Mura. Micromechanics of defects in solids. Martinus Nifhoff Publ., Dorderchet (1987). 588 p
- A.D. Andreev, J.R. Downes, D.A. Faux, E.P. O'Reilly. J. Appl. Phys. 86, 297 (1999)
- И.М. Лифшиц, Л.Н. Розенцвейг. ЖЭТФ 17, 783 (1947)
- R.R. Castles, T. Mura. J. Elast. 15, 27 (1985)
- J.J. Wortman, R.A. Evans. J. Appl. Phys. 36, 153 (1964)
- L. Levien, C.T. Prewitt, D.J. Weidner. Am. Mineralog. 65, 920 (1980)
- Ж. Фридель. Дислокации. Мир, М. (1967). 644 с
- Р.В. Гольдштейн, К.Б. Устинов, М.В. Меженный, В.Я. Резник. В сб.: Материалы 6-й Междунар. конф. "Рост монокристаллов и тепломассоперенос" (ICSC-05). Обнинск, Россия (2005). С. 656
- Р.В. Гольдштейн, К.Б. Устинов, П.С. Шушпанников, М.В. Меженный, М.Г. Мильвидский, В.Я. Резник. Препринт ИПМех РАН N 808. M. (2007). 30 c
- Р.В. Гольдштейн, К.Б. Устинов, П.С. Шушпанников, М.В. Меженный, М.Г. Мильвидский, В.Я. Резник. Письма в ЖТФ 34, 32 (2008)
- Дж. Хирт, И. Лоте. Теория дислокаций. Атомиздат, М. (1972). 599 с
- К. Теодосиу. Упругие модели дефектов в кристаллах. Мир, М. (1985). 352 с
- H. Neuber. Report AFML-TR6820. Technische Hochschule, Munich (1967). 32 p
- В.В. Новожилов. ПММ 33, 212 (1969)
- K.H. Yang. J. Electrochem. Soc. 131, 1140 (1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
