Кинетическая модель роста и коалесценции преципитатов кислорода и углерода во время охлаждения кристалла кремния после выращивания
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Классический приватный университет, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.
Предложена кинетическая модель роста и коалесценции преципитатов кислорода и углерода. Ее сочетание с кинетической моделью образования преципитатов кислорода и углерода представляет собой единую модель процесса преципитации в бездислокационных монокристаллах кремния во время их охлаждения в температурном интервале 1683-300 K после выращивания. Показано, что результаты расчетов хорошо согласуются с экспериментальными данными по исследованию ростовых микродефектов.
- V.V. Voronkov. J. Cryst. Growth 59, 625 (1982)
- T. Sinno, R.A. Brown. J. Electrochem. Soc. 146, 2300 (1999)
- M.S. Kulkarni, V.V. Voronkov, R. Falster. J. Electrochem. Soc. 151, G 663 (2004)
- A.I. Prostomolotov, N.A. Verezub. Solid State Phenomena 131--133, 283 (2008)
- V.I. Talanin, I.E. Talanin, A.A. Voronin. Can. J. Phys. 85, 1459 (2007)
- В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 52, 1925 (2010)
- Е.М. Лифшиц, Л.П. Питаевский. Физическая кинетика. Наука, М. (1979). 420 с
- С.В. Булярский, В.В. Светухин, О.В. Приходько. ФТП 33, 1281 (1999)
- Н.Г. Ван Кампен. Стохастические процессы в физике и химии. Высш. шк., М. (1990). 376 с
- В.В. Слезов, В.В. Сагалович. УФН 151, 67 (1987)
- И.М. Лифшиц, В.В. Слезов. ЖЭТФ 35, 479 (1958)
- В.В. Слезов, С.А. Кукушкин. ФТТ 29, 1812 (1987)
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Статистическая физика. Наука, М. (1976). 583 с
- V.I. Talanin, I.E. Talanin. In: New research of semiconductors / Ed. T.B. Elliot. Nova Science Publishers, Inc., N.Y. (2006). P. 31
- J. Vanhellemont. J. Appl. Phys. 78, 4297 (1995)
- Z. Wang. Modeling microdefects formation in crystalline silicon: the roles of point defects and oxygen. Massachusets institute of technology, Massachusets (2002). 218 p
- S. Henke, B. Stritzker, B. Rauschenbach. J. Appl. Phys. 78, 2070 (1995)
- A.A. Sitnikova, L.M. Sorokin, I.E. Talanin, E.G. Sheikhet, E.S. Falkevich. Phys. Status Solidi A 90, K 31 (1985)
- V.I. Talanin, I.E. Talanin. Cryst. Rep. 55, 632 (2010)
- В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 52, 1751 (2010)
- В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 49, 450 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук