Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Создание геттера в кремнии путем имплантации ионов сурьмы

Садовский П.К.¹, Челядинский А.Р.¹, Оджаев В.Б.¹, Тарасик М.И.¹, Турцевич А.С.², Васильев Ю.Б.²

¹Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь Belarusian State University, Minsk, Republic of Belarus

²ОАО "Интеграл", Минск, Белоруссия

Email: chelyadinski@bsu.by

Поступила в редакцию: 6 декабря 2012 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

В кремнии путем имплантации ионов Sb⁺ и последующих термообработок создан слой пористого кремния в качестве геттера неконтролируемых примесей. Времена жизни неравновесных носителей заряда в пластинах кремния n- и p-типа проводимости с геттерным слоем в 3-4 раза выше, чем без геттера.

R. Sachdeva, A.A. Istratov, E.R. Weber. Appl. Phys. Lett. 79, 2937 (2001)
S.E. Donnellya, V.M. Vishnyakova, G. Cartera, J. Terryb, L.I. Haworthb, P. Sermannic, R.C. Birtcher. Mater. Sci. Eng. B 206, 422 (2003)
J. Wong-Leung, C.E. Ascheron, M. Petravic, R.G. Elliman, J.S. Williams. Appl. Phys. Lett. 66, 1231 (1995)
S.M. Myers, G.A. Petersen, C.H. Seager. J. Appl. Phys. 80, 3717 (1996)
I. Perichaud, E. Yakimov, S. Martinuzzia, C. Dubois. J. Appl. Phys. 90, 2806 (2001)
E. Bruno, S. Mirabella, F. Priolo, E. Napolitani, C. Bongiorno, V. Raineri. J. Appl. Phys. 101, 023 515 (2007)
A. Kinomura, R. Suzuki, T. Ohdaira, M. Muramatsu, C. He, N. Oshima, T. Matsumoto, H. Tanoue, Y. Horino. J. Appl. Phys. 104, 034 301 (2008)
C.Y. Wen, F. Spaeren. Phil. Mag. 87, 5565 (2007)
F.A. Trumbore. Bell Syst. Tech. J. 39, 205 (1960)
L.J. Van der Pauw. Philips Res. Repts. 13, 1, 1 (1958)
А.В. Бураков, С.Н. Якубеня, А.М. Янченко. ПТЭ 4, 226 (1986)
Y. Takamura, A. Vailionis, A.F. Marshall, P.B. Griffin, J.D. Plummer. J. Appl. Phys. 92, 5503 (2002)
D. Caruso, V. Raineri, M. Saggio, U. Stagnitti. Patent N US 645 1672 B1.(2002)
R. Delamare, E. Ntsoenzok, F. Labohm, A. van Veen, J. Grisolia, A. Claverie. Nucl. Instr. Meth. B 186, 324 (2002)
V. Raineri, P.G. Fallica, G. Percolla, A. Battaglia, M. Barbagallo, S.U. Campicano. J. Appl. Phys. 78, 3727 (1995)
R. Liefting. IEEE Trans. Electron Dev. ED-41, 50 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель