ПЖТФ, 2010, том 36, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности электростимулированного разрушения алюминиевой металлизации при наличии диэлектрических ступенек на поверхности кремния

А.А.Скворцов, В.В.Рыбин, С.М.Зуев

Ульяновский государственный университет
E-mail: scvor@list.ru

Поступило в Редакцию 21 октября 2009 г.

Рассмотрены особенности тепловой деградации напыленных на диэлектрические ступеньки алюминиевой металлизации при прохождении через нее одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой j<8· 1010 A/m2 и длительностью 100-1000 mus. Предложена методика, позволяющая проводить диагностику слоев металлизации с диэлектрическими подслоями и определять область их безопасной работы.

 PDF версия (595Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster