Рассмотрены возможности формирования нанокристаллических высокотвердых покрытий методом вакуумно-дугового осаждения с ВЧ (HF-high-frequency discharge) стимуляцией. Конденсаты систем Zr(Ti)$-$Si$-$N содержат кристаллиты двух фаз ZrN и TiN. Кристаллиты в конденсате находятся под действием деформации сжатия в плоскости роста пленки, величиной порядка $-1.1$%, что соответствует действию сжимающих напряжений в системе \glqq пленка$-$подложка\grqq величиной 3.5 GPa. Результаты наноиндентирования свидетельствуют, что в исследуемых объектах наблюдается сильная неоднородность --- участки с твердостью 29$-$30 GPa чередуются с участками, твердость которых превышает 45$-$47 GPa, что отвечает, полученным из структурных данных, модели двухфазного состояния конденсированного материала, состоящего из менее твердых ZrN кристаллов и более твердых TiN кристаллитов.

PACS: 62.20.Qp, 68.47.Gh, 68.60.Bs