ПЖТФ, 2009, том 35, выпуск 15

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Микроэлектромеханические переключатели на основе аморфных алмазоподобных углеродных пленок

В.А.Власенко, С.Н.Беляев, А.Г.Ефимов, Э.А.Ильичев,
М.Д.Маленкович, В.Э.Немировский, Э.А.Полторацкий,
А.В.Горячев, А.Ф.Попков, Г.В.Фролова, М.Л.Шупегин

ФГУП НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград
Московский институт стали и сплавов
Государственный Московский институт электронной техники, Зеленоград
E-mail: polt@niifp.ru

Поступило в Редакцию 23 марта 2009 г.

Представляются результаты разработки и исследований однокристальных микроэлектромеханических переключателей (полная пара), подвижные элементы которых выполнены на основе высокоомных аморфных углеродных алмазоподобных пленок (АПП). Использование в RF MEMS переключателях АПП позволяет устранить эффекты \glqq залипания\grqq электродов, существенно понизить потери сигнала (до 100 dB), реализовать высокие скорости переключений (~ 10 ns) при сверхвысоких частотах коммутируемого сигнала (до 2 GHz на подложках из кремния и свыше 10 GHz на положках из арсенида галлия).

PACS: 84.40.Dc, 84.40.Lj, 07.10.Cm, 85.85.+j

 PDF версия (105Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster